[发明专利]一种废液分类收集装置及其分类收集方法在审
申请号: | 201611059747.X | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN108107687A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 郭生华 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/26 | 分类号: | G03F7/26;H01L21/67 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 废液 接液盒 排废管 转换盒 排废 腔体 分类收集 分类收集装置 水平移动装置 废液桶 底座 机台 水平往复移动 驱动 安装方便 顶部开口 排出 | ||
1.一种废液分类收集装置,其特征在于:包括废液汇集盒(1)、排废转换盒(3)、接液盒(4),废液桶底座(5)及水平移动装置(8),其中废液汇集盒(1)与接液盒(4)分别安装在废液桶底座(5)上,接液盒(4)位于废液汇集盒(1)的下方,在所述废液汇集盒(1)与接液盒(4)之间设有排废转换盒(3),该排废转换盒(3)通过安装在废液桶底座(5)上的水平移动装置(8)驱动水平往复移动;所述废液汇集盒(1)的上部均布有多个废液管接口及废液气管接口(102),底部设有排废管A(101),所述排废转换盒(3)的顶部开口,底部设有排废管B(301),所述接液盒(4)内分为多个腔体,每个腔体底部均设有与排废管路相连通的排废管;机台产生的不同废液由废液管接口及废液气管接口(102)流入废液汇集盒(1)中,并通过所述排废管A(101)流入到下方的排废转换盒(3)中,所述排废转换盒(3)通过水平移动装置(8)的驱动在接液盒(4)内的各腔体之间切换,将不同废液由接液盒(4)中不同的腔体流入,并通过各所述腔体底部设置的排废管排出、实现分类收集。
2.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述排废转换盒(3)通过浮动接头(9)与水平移动装置(8)的输出端相连,该浮动接头(9)的一端与所述排废转换盒(3)连接,另一端与所述水平移动装置(8)的输出端铰接。
3.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述排废转换盒(3)移动方向两侧的废液桶底座(5)上均安装有滑轨(2),该排废转换盒(3)移动方向的两侧均设有与两侧所述滑轨(2)滑动连接的滑块(7)。
4.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述排废管A(101)的最下端低于排废转换盒(3)的最上端,即该排废管A(101)插入排废转换盒(3)中。
5.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述接液盒(4)中设有至少一个隔板(403),通过各隔板(403)将所述接液盒(4)内部分为多个独立的腔体。
6.根据权利要求5所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述各隔板(403)的最上端均低于接液盒(4)的最上端,所述排废管B(301)的最下端低于接液盒(4)的最上端、且高于各所述隔板(403)的最上端。
7.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述废液汇集盒(1)、排废转换盒(3)及接液盒(4)的下端均为漏斗形。
8.根据权利要求1所述的废液分类收集装置,其特征在于:所述接液盒(4)的两侧均通过支撑板(6)固定在废液桶底座(5)上。
9.一种根据权利要求1所述的废液分类收集装置的分类收集方法,其特征在于:所述排废转换盒(3)通过水平移动装置(8)驱动水平移动,在接液盒(4)中不同的腔体上侧切换,将机台产生的不同种类的废液流入所述接液盒(4)中的不同腔体内,由不同腔体底部排废管连接的排废管路排出,将不同种类的废液由不同的容器进行分类收集。
10.按权利要求9所述的分类收集方法,其特征在于:所述排废转换盒(3)由水平移动装置(8)的输出端伸缩带动水平移动,使该排废转换盒(3)底部的排废管B(301)移动到所述接液盒(4)中的一个腔体上侧,机台产生的一种废液通过波纹管流入到废液汇集盒(1)中,通过所述废液汇集盒(1)底部的排废管A(101)流入到下方的排废转换盒(3)内,再经过该排废转换盒(3)底部的排废管B(301)流入所述接液盒(4)中的一个腔体内,通过该腔体底部的排废管连接的排废管路将废液排出,由一个容器收集;然后,所述水平移动装置(8)驱动排废转换盒(3)移动,使该排废转换盒(3)底部的排废管B(301)移动到接液盒(4)中的另一个腔体上侧,机台产生的另一种废液依次经所述废液汇集盒(1)、排废转换盒(3)流入到接液盒(4)中的另一个腔体内,通过另一个腔体底部的排废管连接的排废管路将另一种废液排出,由另一个容器收集;通过所述水平移动装置(8)驱动排废转换盒(3)移动到接液盒(4)的不同腔体上侧,使机台产生的不同种类的废液同不同的容器进行分类收集。
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