[发明专利]亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法

权利要求书

1.一种亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法，属于一种Sol-Gel法，其特征在于，确定Mg_xZn_1-xO中的x的值为：0.25≦x≦0.75，按所述x的值确定乙酸锌和乙酸镁的摩尔比，将所述乙酸锌和乙酸镁溶于有机溶剂，加入与锌离子和镁离子等物质量的乙醇胺，搅拌后得溶胶液；将所述溶胶液旋涂于基片上，低温热处理得凝胶膜；采用激光烧蚀所述凝胶膜，激光功率为5～30W，烧蚀时间为1～1000sec，激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1～50cm，得亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜。

2.根据权利要求1所述的亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙醇、乙二醇甲醚或者聚乙烯醇；所述搅拌是指在50～70℃温度下搅拌1～2h。

3.根据权利要求1所述的亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法，其特征在于，将所述基片吸附于旋涂机的旋涂台上，基片的几何中心位于旋涂台的轴线上；用胶头滴管将所述溶胶液滴加到基片上；基片随旋涂台在500rpm的转速下旋转10sec，再在3000rpm的转速下旋转30sec，在基片上形成一层湿凝胶膜，得湿膜基片；在50℃温度下加热所述湿膜基片5～10min，再在恒温干燥箱中先后在180℃和150℃温度下干燥5～10min，得凝胶膜。

4.根据权利要求1所述的亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法，其特征在于，当凝胶膜尺度在直径1cm以下时，将激光光束扩束到光斑具有同样尺度的程度，照射烧蚀凝胶膜；当凝胶膜尺度在直径1cm以上时，将激光光束聚焦在凝胶膜表面，扫描烧蚀凝胶膜；在激光烧蚀过程中，基片温度为室温，在空气气氛中、常压气压下进行。