[发明专利]压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置

说明书

本发明提供压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。提供能够减少设于压电体的第一布线与第二布线因金属膜的残渣而短路的压电元件。压电元件(1)具备：压电体(4)，设于基板(2)上，并具有多条边；第一布线(6)，从压电体(4)设置到基板(2)；以及第二布线(7)，从压电体(4)设置到基板(2)，从压电体(4)的厚度方向观察，压电体(4)与第一布线(6)重叠的第二边(4b)、第四边(4d)和压电体(4)与第二布线(7)重叠的第一边(4a)、第三边(4c)为不同的边。

技术领域

本发明涉及压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。

背景技术

通过施加电压而变形的压电体被广泛地应用。压电体上设置有两个以上的电极。通过在该电极间施加电压而压电体变形。另外，当压电体变形时，两个电极间产生电压差。利用压电体的性质，能够产生超声波。而且，当压电体接收超声波而发生振动时，能够解析电极间的电压差的变动而检测超声波。

专利文献1中公开了在压电体设置有电极的压电元件。压电体为板状，表面与背面为平行的面。然后，在表面设置第一电极，在背面设置第二电极。压电体的平面形状为长方形，具有四边。将四边中的一条边作为第一边。

第一电极经由通过第一边的第一布线而与背面的第一端子连接。并且，第二电极也经由通过第一边的第二布线而与设于表面的第二端子连接。然后，第一布线及第二布线均沿第一边而配置。压电元件安装在基板上，在基板上设置第三端子及第四端子。并且，第一端子与第三端子连接，第二端子与第四端子连接。

专利文献1中记载的压电元件沿一个边而设置第一布线及第二布线。当在基板上配置微小尺寸的压电元件时，利用光刻法来对压电体进行图案化、蚀刻的方法是有效的。当在压电体上配置抗蚀剂来进行图案化、干法蚀刻时，蚀刻气体、抗蚀剂及压电体引起化学反应。通过化学反应而形成合成物。例如，当压电体为四边形时，沿四条各边而形成合成物。通过该合成物，使压电体的侧面成为接近于相对于上表面而垂直的面。通过向合成物喷上药液，能够将形成合成物的侧面限定于一个侧面。即，当压电体的侧面为四面时，能够仅在一个面形成合成物。合成物也可称为护栏(フェンス)。

从压电体的上表面到基板来设置布线。此时，设置金属膜及抗蚀剂，图案化后进行蚀刻。此时，在侧面为接近于垂直的侧面残留有金属膜的残渣。于是，当在有金属膜的残渣的位置设置两条以上的布线时，布线间短路而导致压电元件发生故障。此处，期望有一种能够降低设于压电体的第一布线与第二布线因金属膜的残渣而短路的压电元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/050235号

发明内容

本发明是为了解决上述技术问题而作出的，可以作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本应用例涉及的压电元件，其特征在于，具备：压电体，设于基板上，并具有多条边；第一布线，从所述压电体设置到所述基板；以及第二布线，从所述压电体设置到所述基板，从所述压电体的厚度方向观察，所述压电体与所述第一布线重叠的边和所述压电体与所述第二布线重叠的边不同。

根据本应用例，压电元件具备基板，在基板上设置压电体。压电体具有多条边。第一布线以及第二布线从压电体设置到所述基板。并且，从压电体的厚度方向观察，压电体与第一布线重叠的边和压电体与第二布线重叠的边不同。

压电体的外形通过设置与压电体的外形形状同形状的抗蚀剂并蚀刻而成。压电体的侧面呈倾斜而形成。此时，抗蚀剂、蚀刻环境、压电体的材料反应，突形状的合成物沿压电体的外形而成长。该合成物在压电体的厚度方向上突出。通过该合成物，压电体的侧面相对于基板的平面而接近于直角。喷上用于除去合成物的药液。此时，多条边中仅在一边残留合成物的概率比在两条以上的边残留合成物的概率高。