[发明专利]压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，具备：

基板；

压电体，设于所述基板上，并且从厚度方向观察的外形具有曲线；

第一布线，从所述压电体的第一位置设置到所述基板；以及

第二布线，从所述压电体的第二位置设置到所述基板，

所述第一位置上的外形的法线的朝向与所述第二位置上的外形的法线的朝向所成的角度为90度以上270度以下。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述第一布线构成为包括设于所述基板与所述压电体之间的下布线、和从所述压电体上设置到所述下布线的上布线。

3.一种压电元件的形成方法，其特征在于，包括：

对设于基板上的压电体进行干法蚀刻而形成从厚度方向观察具有曲线的外形；

对沿所述压电体的外形而附着的合成物喷射使所述合成物减少的药液；

将第一布线从所述压电体的第一位置设置到所述基板；以及

将第二布线从所述压电体的第二位置设置到所述基板，

所述第一位置上的外形的法线的朝向与所述第二位置上的外形的法线的朝向所成的角度为90度以上270度以下。

4.根据权利要求3所述的压电元件的形成方法，其特征在于，

所述第一布线包括下布线和上布线，

在形成所述压电体的外形之前将所述下布线设置到所述基板上，

在所述下布线上设置所述压电体，

将所述上布线从所述压电体上设置到所述下布线上。

5.一种超声波装置，其特征在于，具备：

振动板，输出超声波；以及

压电元件，使所述振动板振动，

所述压电元件是权利要求1或2所述的压电元件。