[发明专利]可保持气密性的载片装置有效

专利信息
申请号: 201611052257.7 申请日: 2016-11-25
公开(公告)号: CN108109947B 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 符平平;张怀东 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 保持 气密性 装置
【权利要求书】:

1.一种可保持气密性的载片装置,其特征在于:包括基座(1)、密封罩(2)、片盒门(9)、传动杆(5)、片盒门连杆(11)及片盒门锁紧机构,其中密封罩(2)设置于基座(1)上,形成结构主体,所述基座(1)上设有开口,所述片盒门(9)通过片盒门连杆(11)可转动地设置于该开口处,用于所述结构主体的密封,所述片盒门连杆(11)的两端分别连接有位于所述基座(1)两侧的两个传动杆(5),所述片盒门锁紧机构设置于所述基座(1)上、用于片盒门(9)处于关闭状态时锁紧两个传动杆(5);

所述片盒门锁紧机构包括扳动手柄(3)、手柄传动轴(6)及两个压杆(8),其中手柄传动轴(6)可转动地安装在所述基座(1)的外侧、且与两个压杆(8)的一端连接,两个压杆(8)的另一端用于锁紧所述传动杆(5),所述扳动手柄(3)与手柄传动轴(6)连接。

2.根据权利要求1所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:两个所述压杆(8)与手柄传动轴(6)垂直、且压杆8的长度可调,所述压杆(8)的端部设有凸起,所述传动杆(5)上设有卡槽,所述压杆(8)通过凸起与所述传动杆(5)上的卡槽卡接,实现传动杆(5)的锁紧。

3.根据权利要求2所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述传动杆(5)的端部沿轴向设有与所述卡槽连通的滑槽,所述压杆(8)旋转,其端部的凸起通过所述滑槽滑入所述卡槽内。

4.根据权利要求1所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述扳动手柄(3)与手柄传动轴(6)的中间位置连接、其与手柄传动轴(6)垂直。

5.根据权利要求1-4任一项所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述载片装置进一步包括手柄锁紧机构,所述手柄锁紧机构用于所述压杆(8)锁紧所述传动杆(5)时,对所述扳动手柄(3)进行锁紧。

6.根据权利要求5所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述手柄锁紧机构包括固定座和锁杆(4),其中固定座设置于所述密封罩(2)上,所述锁杆(4)设置于固定座上,用于对所述扳动手柄(3)进行锁紧。

7.根据权利要求6所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述锁杆(4)为可伸缩杆。

8.根据权利要求1所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:两个所述传动杆(5)的端部通过传动杆密封轴(10)与所述基座(1)连接。

9.根据权利要求1所述的可保持气密性的载片装置,其特征在于:所述基座(1)和密封罩(2)之间设有密封垫。

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