[发明专利]一种负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法有效
| 申请号： | 201611052072.6 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106756788B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 魏强;卢红;黄欢欢;张立宪 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/28;C01G23/07;B01J21/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李丽萍 |
| 地址： | 300350 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 黑色二氧化钛 靶材 负压环境 溅射沉积 脉冲激光 激光器 真空罐 薄膜 制备 白色二氧化钛 压强 反应时间短 脉冲激光器 入射激光束 原材料费用 粉末压片 罐内压力 激光波长 激光聚焦 激光脉宽 激光能量 开启脉冲 制备过程 辐照 抽真空 基底 | ||
【权利要求书】：
1.一种负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、将原始的白色二氧化钛粉末压片，得到压强为140～200Mpa的白色二氧化钛靶材；
步骤二、将步骤一制得的白色二氧化钛靶材置于真空罐，抽真空使真空罐内压力达到1×10-6-1×104Pa；调节脉冲激光器的入射激光束与所述白色二氧化钛靶材之间的角度为10～45°，激光器的基片基底与所述白色二氧化钛靶材的距离为15～50mm；开启脉冲激光器，调节激光脉宽、激光能量、激光波长和频率，激光聚焦辐照真空罐中的白色二氧化钛靶材，靶材吸收激光能量迅速升温气化产生高温等离子体，处理一定时间，在基片上得到黑色二氧化钛薄膜，将黑色二氧化钛薄膜上的黑色二氧化钛刮下即得到黑色二氧化钛粉末。
2.根据权利要求1所述负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法，其特征在于，所述激光器的基片为耐高温基片，耐温不低于550℃。
3.根据权利要求1所述负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法，其特征在于，所述激光脉宽为10ns-50ps，激光能量为450-1500mJ，激光波长为532-1064nm，频率为5～20Hz；激光聚焦辐照白色二氧化钛靶材每点处理时间为30～120s。
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