[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

本发明提供抑制了层压于压电体层上的上电极层的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。MEMS器件具备：驱动区域，其具有下电极层、压电体层及上电极层依次层压所形成的压电元件，压电元件从驱动区域延伸到非驱动区域，且在该延伸方向上，下电极层及压电体层延伸到与上电极层相比靠外侧，覆盖延伸方向上的上电极层的端部的树脂部被层压在非驱动区域内的上电极层上以及形成在与该上电极层相比靠外侧处的压电体层上，与上电极层电连接的导电层层压在树脂部上及从该树脂部偏离出的区域内的上电极层上，上电极层的端部被形成在与导电层的树脂部侧的端部相比靠驱动区域侧处。

技术领域

本发明涉及一种用于液体的喷射等的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置，尤其涉及一种具备第一电极层、电介质层以及第二电极层依次被层压而形成的层压结构体的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

背景技术

具备第一电极层、电介质层以及第二电极层依次被层压而形成的层压结构体的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)器件被应用于各种装置(例如，液体喷射装置或传感器等)中。例如，在作为MEMS器件的一种的液体喷射头中设置有作为上述的层压结构体的一种的压电元件、喷射液体的喷嘴以及与喷嘴连通的压力室等。虽然作为搭载有这种液体喷射头的液体喷射装置，例如，存在有喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录装置，但最近发挥能够使极少量的液体准确地喷落在预定位置处的特长，从而也被应用于各种制造装置中。例如，被应用于对液晶显示器等的滤色器进行制造的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、对生物芯片(生物化学元件)进行制造的芯片制造装置中。并且，在图像记录装置用的记录头中对液状的油墨进行喷射，在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中对R(Red，红色)、G(Green，绿色)、B(Blue，蓝色)的各种颜色材料的溶液进行喷射。此外，在电极形成装置用的电极材料喷射头中对液状的电极材料进行喷射，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中对生物体有机物的溶液进行喷射。

在上述的液体喷射头中，作为被夹持在第一电极层和第二电极层之间的电介质层的一种的压电体层通过向两电极层的电压(电信号)的施加而被驱动。并且，上述的液体喷射头被构成为，通过该驱动而使压力室内的液体产生压力变动，并利用该压力变动而从喷嘴喷射液体。即，两电极层以及被它们夹持的部分作为使压力室产生压力变动的压电元件而发挥功能。此外，作为这种液体喷射头，存在有具备如下结构的液体喷射头，即，在被层压在与压电体层相比靠上方的位置处的第二电极层的端部上层压有与配线基板等连接的第三电极层，压电体层以及第一电极层延伸到与该第三电极层相比靠外侧(与驱动区域相反的一侧)的结构(参照专利文献1)。

可是，在上述那样的结构中，存在有在两电极间形成有电场的区域的端部即第二电极层的端部处的电介质层由于在该第二电极层的端部处流通的泄漏电流而被损坏的可能性。具体而言，存在有在第二电极层的端部处产生烧损的可能性。

专利文献1：日本特开2004―136663号公报

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而完成的发明，其目的在于，提供一种抑制了在层压于电介质层上的第二电极层的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。