[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种微机电系统器件，其特征在于，具备：

驱动区域，其具有第一电极层、第一电介质层以及第二电极层依次被层压所形成的层压结构体，

所述层压结构体从所述驱动区域延伸到与该驱动区域相比靠外侧的非驱动区域，并且在该延伸方向上，所述第一电极层以及所述第一电介质层延伸到与所述第二电极层相比靠外侧，

对所述延伸方向上的所述第二电极层的端部进行覆盖的第二电介质层被层压在所述非驱动区域内的所述第二电极层上以及形成在与该第二电极层相比靠所述延伸方向的外侧处的所述第一电介质层上，

与所述第二电极层电连接的第三电极层被层压在所述第二电介质层上以及从该第二电介质层偏离出的区域内的所述第二电极层上，

在所述延伸方向上，所述第二电极层的端部被形成在与所述第三电极层的所述第二电介质层侧的端部相比靠所述驱动区域侧处，

在与所述层压结构体的层压方向正交且与所述延伸方向正交的方向上，与所述第二电介质层重叠的所述第三电极层的尺寸大于所述第一电极层的尺寸。

2.一种液体喷射头，其特征在于，其为权利要求1所述的微机电系统器件，并具备：

压力室，其至少一部分通过所述驱动区域而被划分；

喷嘴，其与所述压力室连通，

所述第一电介质层为压电体层，

所述第二电介质层为树脂。

3.一种液体喷射装置，其特征在于，

具备权利要求2所述的液体喷射头。