[发明专利]冷却装置

说明书

本发明提供一种能抑制收纳有冷却对象的空间中的排气速度下降的冷却装置。冷却装置具备冷却部和被冷却部冷却的冷却体。冷却体包括与冷却部连接的第1面(12a)和第1面(12a)相反侧的第2面(12b)。冷却体(12)进一步包括使气体在第1面(12a)与第2面(12b)之间流动的通道(21s)。

技术领域

本发明涉及对冷却对象进行冷却的冷却装置。

背景技术

成膜装置、蒸镀装置等真空处理装置具备低温机构，低温机构通过使装置内的气体凝结而将其捕捉，从而对真空处理装置内进行减压(例如，参照专利文献1)。另外，在真空处理装置中，使用例如利用热辐射冷却作为处理对象的基板的冷却板(例如，参照专利文献2)。冷却板被在配置于冷却板的内部的配管中流动的冷却水冷却，通过与基板相对的冷却板的相对面从基板吸热，从而冷却基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-166477号公报

专利文献2：日本特开2005-332619号公报

但是，在通过冷却板冷却基板时，优选将冷却板的相对面的大小设定得接近基板的大小，并将基板与相对面之间的距离设定得小。但是，冷却板的相对面变得越大，冷却板与真空处理装置的内周面的间隙变得越小，并且使冷却板的相对面越接近基板，冷却板与基板的间隙变得越小。其结果，表示排气能力的传导率(conductance)、即排气速度下降。

另外，这样的问题不限于冷却体被冷却水冷却的冷却装置，即使在利用低温机构进行冷却的冷却装置也同样会产生。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降的冷却装置。

根据一个方式的冷却装置包括：冷却部；以及冷却体，其包括与所述冷却部连接的第1面和所述第1面相反侧的第2面，所述冷却体被所述冷却部冷却。所述冷却体进一步包括使气体在所述第1面与所述第2面之间流动的通道。

根据上述构成，由于在冷却体形成有使气体在第1面和第2面之间流动的通道，所以与不具有通道的构成相比，沿冷却体的第1面的气体的流动以及沿第2面的气体的流动被促进。因此，气体容易向冷却体流动，其结果，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸，并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝。在该情况下，所述多个冷却部件也可以具有2种以上的不同的大小。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述冷却体也可以包括沿所述第1方向延伸，并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝。在该构成中，各狭缝作为所述通道发挥作用。所述多个冷却部件也可以包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间。在该情况下，所述两个端部件中的至少一个也可以比所述中间部件小。

根据上述构成，由于通道(狭缝)位于冷却体的两端附近，所以在冷却体的周围流动的气体容易流入冷却体的通道中。因此，沿第1面的气体的流动和沿第2面的气体的流动被促进，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件至少两个狭缝。在该构成中，各狭缝作为所述通道发挥作用。所述多个冷却部件也可以包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间。在该情况下，所述至少一个中间部件中的至少1个也可以比所述两个端部件的每一个小。