[发明专利]冷却装置有效
申请号: | 201610982037.8 | 申请日: | 2016-11-08 |
公开(公告)号: | CN107043918B | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 安田淳一;村山吉信;降矢新治 | 申请(专利权)人: | 爱发科低温泵株式会社 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54 |
代理公司: | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人: | 余文娟 |
地址: | 日本神奈川*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却 装置 | ||
1.一种冷却装置,其具备:
冷却部;以及
冷却体,其包括与所述冷却部连接的第1面和所述第1面相反侧的第2面,所述冷却体被所述冷却部冷却,
所述冷却体进一步包括使气体在所述第1面与所述第2面之间流动的通道,
所述第2面是与冷却对象相对且将所述冷却对象冷却的面,
将所述气体凝结的所述第1面的表面粗度比所述第2面的表面粗度小。
2.根据权利要求1所述的冷却装置,其中,
所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状,
所述通道是沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝,
所述多个冷却部件具有2种以上的不同的大小。
3.根据权利要求1所述的冷却装置,其中,
所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状,
所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝,各狭缝作为所述通道而设置,
所述多个冷却部件包括:两个端部件,其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端;以及至少一个中间部件,其位于所述两个端部件之间,
所述两个端部件中的至少一个比所述中间部件小。
4.根据权利要求1所述的冷却装置,其中,
所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状,
所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝,各狭缝作为所述通道而设置,
所述多个冷却部件包括:两个端部件,其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端;以及至少一个中间部件,其位于所述两个端部件之间,
所述至少一个中间部件中的至少一个比所述两个端部件的每一个小。
5.根据权利要求1所述的冷却装置,其中,
所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状,
所述通道是沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝,
所述多个冷却部件具有大致相同的形状,并且在所述第2方向上等间隔地配置。
6.根据权利要求2-5中任意一项所述的冷却装置,其中,
所述多个冷却部件中的至少一个是相对于由所述第1方向和所述第2方向划定的基准面倾斜的倾斜部件,
所述倾斜部件在所述第2方向上的一端具有缘,
所述缘与在所述第2方向上相邻的所述多个冷却部件中的一个重叠。
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