[发明专利]一种输送系统

权利要求书

1.一种输送系统，其依次包括原料供应装置、分流装置、沉积装置，所述原料供应装置、分流装置、沉积装置之间通过管道连接形成流体原料输送管路，所述沉积装置的末端连接到各个用料点上，其特征在于，所述分流装置和沉积装置之间设有汽化装置，所述汽化装置包括若干原料加热罐、设置在所述原料加热罐的送料口上的输送阀组面板和质量流量计。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，还包括压送吹扫支路一和压送吹扫支路二，所述压送吹扫支路一连接到所述原料供应装置的输送管路上，所述压送吹扫支路二连接到所述分流装置的输送管路上。

3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于，所述压送吹扫支路一和压送吹扫支路二均包括：氮气压送装置和吹扫装置，所述吹扫装置上设有文丘里抽真空装置。

4.根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，所述原料供应装置包括：至少两个原料罐，所述原料罐上设有自动输送面板。

5.根据权利要求4所述的输送系统，其特征在于，所述自动输送面板包括两个压力盖、和连接所述两个压力盖的合并管一，所述合并管一上设有两个自动阀，两个自动阀之间的合并管一连接有输送管一，所述输送管一将所述合并管一和所述分流装置连接在一起；所述合并管一连接所述压送吹扫支路一。

6.根据权利要求5所述的输送系统，其特征在于，所述分流装置包括至少两个缓冲罐，所述缓冲罐之间连接有合并管二和分流管，所述分流管通过分流阀与所述汽化装置的各个原料加热罐连接。

7.根据权利要求6所述的输送系统，其特征在于，所述分流管连接所述压送吹扫支路二。

8.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述沉积装置包括与所述汽化装置连接的若干沉积管路和沉积炉管，所述沉积炉管连接到各个用料点上。