[发明专利]压电薄膜传感器制备方法

说明书

本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，在压电薄膜传感器的复合层制备过程中，在任意一层中制备定位标记；以定位标记为基准，在复合层上打定位孔；在套位模切时，模切模板具有定位组件，与定位孔一一对应，模切刀线将所述压电薄膜传感器的复合层半断和/或全断模切；接端子形成压电薄膜传感器元件。其优点在于在定位孔的精确定位下，通过套位模切将接线端子上的部分材质切除，方便接线端子安装。

技术领域

本发明涉及一种压电薄膜传感器的制备方法，特别涉及一种压电薄膜传感器卷对卷制造方法。

背景技术

压电薄膜传感器元件可以嵌入鞋子等穿戴产品测量运动者的力学数据，或者应用于手机、家电等触控按键或键盘，是未来智能可穿戴和智能手机和家电的重要传感器件。目前，制造外观尺寸精度较高的小型压电薄膜传感器常常采用片材加工工艺，这样增加了较多人工成本。此外，压电薄膜传感器正电极和接地电极需要在垂直投影面形成相互错位，以采用刺穿端子铆接，给制造环节增加了困难。

中国专利CN20140383801.0介绍了一种压电驻极体薄膜元件的加工方法，该方法采用片材加工方式：在绝缘保护膜上设置导电电极，然后在非感应区和感应区分别设置压敏胶，在非感应区将正导电电极和接地导电电极接口错位对好位粘合，最后在感应区设置压电驻极体薄膜，形成压电驻极体薄膜元件。该方法中在进行非感应区错位粘合时，需要人工对位，不仅浪费了大量人工，而且对位精度不高，造成电极层和传感器元件外形相互偏移误差较大。

中国专利CN201610265705.5介绍了一种长条状压电薄膜传感器卷对卷制造方法，该方法将多个重复设置传感器倾斜设置，并且使传感器正电极端口在边缘露出，实现了压电薄膜传感器正电极和接地电极在垂直投影面形成相互错位的目的。但是实际上有些压电薄膜传感器(比如用于触控按键、智能鞋等)尺寸较小，尺寸属于圆形或方形，端口数量较多。采用本方法不容易实现压电薄膜传感器正电极和接地电极在垂直投影面形成相互错位的目的。

发明内容

本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，克服现有技术的缺陷，解决上述问题。

本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，具有以下步骤：

步骤A、在压电薄膜传感器的复合膜制备过程中，在任意一层中制备定位标记；

步骤B、以定位标记为基准，在复合层上打定位孔；

步骤C、在套位模切时，模切模板具有定位组件，与定位孔一一对应，模切刀线将所述压电薄膜传感器的复合层半断和/或全断模切；

步骤D、接端子形成压电薄膜传感器元件。

进一步，本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，还具有这样的特征：套位模切的模具包括上下两个模板，其中一个模板具有半断刀线，半断刀线的切割深度为需要切除压电薄膜传感器的复合层部分层数的厚度；压电薄膜传感器的复合层放置在两个模板之间，半断刀线只切断部分复合层。

进一步，本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，还具有这样的特征：模板上还具有全断刀线，将压电薄膜传感器全部切断。

进一步，本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，还具有这样的特征：模板上还具有全断刀线，将压电薄膜传感器全部切断，在切断部分复合层的同时将卷对卷的复合层切成单个复合层。

进一步，本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，还具有这样的特征：另一模板上也具有半断刀线，半断刀线的切割深度为需要切除压电薄膜传感器的复合层部分层数的厚度，切断另一侧的部分复合层。

进一步，本发明提供一种压电薄膜传感器制备方法，还具有这样的特征：一个模板具有定位柱，另一个模板具有定位槽；套位模切时，定位柱穿过压电薄膜传感器的复合层上的定位孔，再插入定位槽。