[发明专利]利用非热溶液用于远紫外掩模清洗的方法和系统

权利要求书

1.一种修复掩模的方法，所述方法包括：

检查掩模以识别所述掩模上的缺陷，其中，所述掩模包括覆盖层，所述覆盖层包括钌或含钌的化合物；

混合硫酸和过氧化氢以形成硫酸-过氧化氢混合物；

使用冷却模块以冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成非热的硫酸-过氧化氢混合物，其中，所述冷却模块包括反馈环路、流速控制机制和控制模块；

对所述掩模使用所述非热的硫酸-过氧化氢混合物来对所述掩模实施清洗工艺；以及

修复所述掩模以从所述掩模去除所述缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过所述冷却模块将所述硫酸-过氧化氢混合物冷却至室温以下的工作温度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成具有在4℃和15℃之间的范围内的工作温度的所述非热的硫酸-过氧化氢混合物。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括通过具有室温以下的温度的冷却水冷却所述硫酸-过氧化氢混合物。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述冷却模块包括内管和围绕所述内管的外螺旋管，其中，所述内管和所述外螺旋管由石英制成且设计为热连接以用于所述内管和所述外螺旋管之间的充分的热传输。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括

使所述硫酸-过氧化氢混合物流动至所述内管；以及

同时使所述冷却水流动至所述外螺旋管从而使得所述非热的硫酸-过氧化氢混合物被冷却至所述室温以下的工作温度。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括调节所述冷却水的流速从而使得在对所述掩模应用所述非热的硫酸-过氧化氢混合物之前，将所述非热的硫酸-过氧化氢混合物冷却至所述工作温度。

8.根据权利要求2所述的方法，其中，

修复所述掩模包括应用电子束和氟化氙(XeF₂)以去除吸收层的多余部分；以及

对所述掩模应用所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括通过喷嘴将所述非热的硫酸-过氧化氢混合物喷涂至所述掩模。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述掩模是远紫外掩模，所述掩模包括低热膨胀材料衬底、沉积在所述低热膨胀材料衬底上的反射多层、位于所述反射多层上的钌的覆盖层以及位于所述覆盖层上的吸收层。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述远紫外掩模包括选自由二元掩模和相移掩模组成的组的掩模。

11.一种制造掩模的方法，所述方法包括：

混合硫酸和过氧化氢以形成硫酸-过氧化氢混合物；

使用冷却模块来冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成非热的硫酸-过氧化氢混合物，其中，所述冷却模块包括反馈环路；以及

对所述掩模应用所述非热的硫酸-过氧化氢混合物，从而清洗所述掩模，其中，所述掩模包括覆盖层，所述覆盖层包括钌或含钌的化合物。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括：

使用检查工具来检查所述掩模以识别位于所述掩模的电路图案上的缺陷；以及

使用电子束和氟化氙修复所述掩模的所述缺陷以形成修复的图案。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成所述非热的硫酸-过氧化氢混合物包括冷却所述硫酸-过氧化氢混合物以形成具有25℃以下的温度的所述非热的硫酸-过氧化氢混合物。