[发明专利]激光器的制造方法

说明书

本发明提供一种激光器的制造方法，包括：在衬底上生长有源层；对有源层和衬底进行刻蚀，以形成凸出的且具有设定间隔距离的两个台面；在两个台面的两侧生长反向PN结，并使反向PN结覆盖两个台面的有源层的两侧；在反向PN结和两个台面的有源层上生长用于光限制的包层；在包层上生长用于电接触的接触层；对接触层、包层、反向PN结和衬底进行刻蚀，以在两个台面的两侧形成隔离槽；制作电极以形成两个激光器单元。本发明可提高激光器的良率，降低高激光器的制造成本。

技术领域

本发明涉及激光设备技术，尤其涉及一种激光器的制造方法。

背景技术

激光器是光纤通讯、数据传输的关键部件。

现有的激光器的制造方法中包括生长有源区、生长反向PN结、生长包层和接触层等步骤。

由于现有的激光器的制造方法中，金属有机化合物化学气相沉淀生长次数多，因此激光器的良率较低，从而导致激光器制造成本的升高。

发明内容

本发明提供一种激光器的制造方法，以提高激光器的良率，降低高激光器的制造成本。

本发明提供一种激光器的制造方法，包括：

在衬底上生长有源层；

对所述有源层和衬底进行刻蚀，以形成凸出的且具有设定间隔距离的两个台面；

在两个所述台面的两侧生长反向PN结，并使所述反向PN结覆盖两个所述台面的有源层的两侧；

在所述反向PN结和两个所述台面的所述有源层上生长用于光限制的包层；

在所述包层上生长用于电接触的接触层；

对所述接触层、包层、反向PN结和衬底进行刻蚀，以在两个所述台面的两侧形成隔离槽；

制作电极以形成两个激光器。

基于上述，本发明提供的激光器的制造方法，通过对非台面区域的有源层和衬底进行刻蚀，以形成凸出的且具有设定间隔距离的两个台面，使两个台面包括有源层，并在两个台面的两侧生长反向PN结，并使反向PN结覆盖两个台面的有源层的两侧，从而起到限制电流在有源区两侧通过的作用，在后续步骤中形成用于光限制的包层、用于电接触的接触层以及用于减小寄生电容和漏电的隔离槽并制作电极，从而能够在一个激光芯片上形成两个激光器单元，在选择激光芯片时，可测试两个激光器单元的性能并挑选性能占优的激光器单元，由此利于提高激光器性能和良率，从而降低激光器的制造成本。

附图说明

图1为本发明实施例一提供的一种激光器的制造方法的流程图；

图2为本发明实施例二提供的一种激光器的制造方法的流程图；

图3为本发明实施例三提供的一种激光器的制造方法的流程图；

图4-图10为本发明实施例提供的一种激光器的制造方法各步骤的示意图。

附图标记：

201：衬底； 202：有源层； 203：半绝缘保护膜；

204：台面； 205：反向PN结； 206：包层；

207：接触层； 208：隔离槽； 209：电极；

210：激光器单元； 211：焊点区； 212：绝缘层；

213：正极； 214：金线； 215：焊盘；

216：保护层。

具体实施方式