[发明专利]一种光配向系统

权利要求书

1.一种光配向系统，其特征在于：包括：

激光器，用以产生激光；

分束单元，用以将所述激光器产生的激光分成两光束；

扩束单元，用以分别将所述分束单元分束后的两光束的光斑调整为条状光斑；

光束反射单元，用以分别将所述扩束单元调整过的两光束反射后于玻璃基板上形成干涉条纹；

工件台，用以承载所述玻璃基板沿扫描方向移动，完成对所述玻璃基板上配向膜的配向；

能量探测单元，用以分别探测经所述分束单元分束后的两光束的能量；

条纹探测单元，用以探测所述干涉条纹的分布；

控制单元，用以根据所述能量探测单元和所述条纹探测单元反馈的信息，通过执行部件对两光束进行调整，从而得到所需的干涉条纹。

2.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于，所述执行部件包括设于所述分束单元与所述扩束单元之间的衰减片，用于分别对经所述分束单元分束后的两光束进行能量调整。

3.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于，所述执行部件包括设于所述分束单元与所述扩束单元之间的调相片，用于对经所述分束单元分束后的两光束中至少一束进行相位调整。

4.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于，所述分束单元包括第一分束器、第二分束器和第三分束器，所述激光经过所述第一分束器分束后得到两个激光能量相等的第一光束和第二光束，所述第一光束经所述第二分束器分束后，一部分进入所述扩束单元，另一部分被所述能量探测单元探测，所述第二光束经所述第三分束器分束后，一部分进入所述扩束单元，另一部分被所述能量探测单元探测。

5.如权利要求4所述的光配向系统，其特征在于，所述扩束单元包括第一扩束组件和第二扩束组件，所述第一扩束组件与所述第二分束器连接，所述第二扩束组件与所述第三分束器连接。

6.如权利要求5所述的光配向系统，其特征在于，所述光束反射单元包括与所述第一扩束组件连接的第一反射组件和与所述第二扩束组件连接的第二反射组件，所述控制单元控制所述第一反射组件和所述第二反射组件分别对经所述扩束单元调整过的两光束进行偏转角度调整。

7.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于：所述光束反射单元与所述玻璃基板之间设有出射光阑，所述出射光阑的宽度可调。

8.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于：所述干涉条纹平行于工件台的扫描方向。

9.如权利要求1所述的光配向系统，其特征在于：所述干涉条纹的分布包括位置、周期和宽度。