[发明专利]一种极高真空电离规的制备方法有效
| 申请号： | 201610784734.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106372313B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 肖玉华;李得天;张虎忠;成永军;王永军;李丹明 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01J41/02;G01L21/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;李爱英 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 极高 真空 电离 制备 方法 | ||
【说明书】：
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