[发明专利]一种极高真空电离规的制备方法有效
| 申请号: | 201610784734.2 | 申请日: | 2016-08-31 | 
| 公开(公告)号: | CN106372313B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 | 
| 发明(设计)人: | 肖玉华;李得天;张虎忠;成永军;王永军;李丹明 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 | 
| 主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50;H01J41/02;G01L21/30 | 
| 代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 杨志兵;李爱英 | 
| 地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 极高 真空 电离 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
                
            
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