[发明专利]离子束抛光离子源坐标位置标校系统和标校方法在审
| 申请号： | 201610705733.4 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106217175A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 邓翔宇 | 申请（专利权）人： | 成都森蓝光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束 抛光 离子源 坐标 位置 系统 校方 | ||
【说明书】：
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