[发明专利]铜靶材的处理方法在审
| 申请号： | 201610675428.5 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107761064A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李健成 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜靶材 处理 方法 | ||
1.一种铜靶材的处理方法，其特征在于，包括：
提供具有溅射面的铜靶材；
采用异丙醇溶液或者丙酮溶液，对所述铜靶材溅射面进行冲洗处理。
2.如权利要求1所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，在所述冲洗处理中，对所述溅射面进行冲洗的压力为0.5Mpa～0.8Mpa。
3.如权利要求1所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述异丙醇溶液中，异丙醇质量浓度大于或等于99.5％。
4.如权利要求1或3所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述异丙醇溶液中，异丙醇质量浓度为99.99％。
5.如权利要求1所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述丙酮溶液中，丙酮质量浓度大于或等于99％。
6.如权利要求1所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，在进行所述冲洗处理之后，还包括步骤：对所述铜靶材进行真空包装。
7.如权利要求6所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，进行所述真空包装的步骤包括：提供包装袋；向所述包装袋内充氩气；将所述铜靶材置于所述包装袋内；对所述包装袋进行抽真空处理。
8.如权利要求6所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，在进行所述冲洗处理之后、进行真空包装之前，还包括：采用惰性气体，对所述铜靶材溅射面进行吹干处理。
9.如权利要求8所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气或氦气。
10.如权利要求8所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述吹干处理中，惰性气体流量为1sccm～500sccm。
11.如权利要求8所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，在进行所述吹干处理之后、进行真空包装之前，还包括：在所述铜靶材溅射面上粘附保护膜。
12.如权利要求11所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述保护膜为蓝膜或UV膜。
13.如权利要求1所述的铜靶材的处理方法，其特征在于，所述铜靶材为纯铜靶材或铜合金靶材。
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