[发明专利]一种离子注入机用光路对中工装

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造设备，即离子注入机，特别地涉及一种用于中束流离子注入机整机光路对中工装，属半导体设备领域。

背景技术

半导体器件制造技术与工艺都非常复杂，离子注入掺杂属于半导体器件制造过程中非常关键的一道工艺。离子注入掺杂工艺与常规热掺杂工艺相比具有高精度的剂量均匀性与重复性，横向扩散小等优点，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入属于精密制造行业，伴随着高端生产线上使用的中流离子注入机工艺要求不断提高，对离子注入机装配工艺也就要求越来越高，所以就需要开发必要的工装来保证注入机的装配精度。

发明内容

本发明公开了一种离子注入机用光路对中工装，可以对中束流离子注入机主光路进行装配结构校准。

本发明涉及一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于包括，束线腔体用工装一(1)通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上，束线腔体用工装二(2)同样通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上；分析器用工装一(3)、分析器用工装二(6)均通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器固定组件(4)通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器(5)固定在激光器固定组件(4)；离子源区对中组件(7)通过圆柱销与螺钉固定在预过滤组件(103)上。

束线腔体用工装一(1)上有两个过光孔在同一直线上，束线腔体用工装二(2)上有一个过光孔，这三个孔组成的一条直线为束线腔体的实际对中位置，分析器用工装一(3)上有两个过光孔，这两个孔形成了分析器的实际对中位置，当激光器(5)发射出的光束从束线腔体的实际对中位置与分析器的实际对中位置同时穿过时，说明两部分组件已经完全对中，误差在可允许范围内。

离子源区对中组件(7)上有两个过光孔在同一直线上，这两个孔组成的一条直线为离子源区的实际对中位置，分析器用工装二(6)上有两个过光孔，这两个孔形成了分析器的实际对中位置，当激光器(5)发射出的光束从离子源区的实际对中位置与分析器的实际对中位置同时穿过时，说明两部分组件已经完全对中，误差在可允许范围内。

当激光器(5)为测距激光器时，就可以精确测量分析器(101)和预过滤组件(103)之 间的实际距离与分析器(101)和束线腔体(103)的实际距离，这样就可以对实际光路部件装配情况进行全方位的校准。

激光器固定组件(4)拥有两个直线运动滑台与一个转动滑台，用于调整激光器发射光的方向与空间位置。

本发明具有如下显著优点：

1.易于操作，对中精度高可以实现整体光路的关键部件同时对中；

2.结构简单，结构易于制造安装维护；

附图说明

图1激光对中组件正视图

图2激光对中组件侧视图

具体实施方式

下面结合附图1对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

参见附图1，束线腔体用工装一(1)通过圆柱销(10)与螺钉(11)精确固定在束线腔体(103)上，束线腔体用工装二(2)同样通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上；分析器用工装一(3)、分析器用工装二(6)均通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器固定焊接架(9)通过圆柱销(8)与螺钉(9)固定在分析器(101)上，旋转滑台(14)通过螺钉固定在激光器固定焊接架(9)上，直线滑台1(13)固定在旋转滑台上，直线滑台2(12)固定在直线滑台1(13)上，激光器固定座(16)固定在直线滑台(12)上，激光器固定座(16)可以竖直方向旋转；离子源区对中组件(7)通过圆柱销与螺钉固定在预过滤组件(103)上。

当激光器发射一束可见光时，通过调节各个可动部件(两个直线滑台、一个旋转滑台、一个竖直方向旋转座)使激光从分析器用工装一(3)两个小孔通过，这时调节分析器(101)的四个支脚，当激光从束线腔体用工装一(1)和束线腔体用工装二(2)同时通过时，平行透镜与分器装配公差已经在设计允许范围内。

将滑台逆时针旋转90度，通过调节各个可动部件(两个直线滑台、一个旋转滑台、一个竖直方向旋转座)使激光从分析器用工装二(6)两个小孔通过，这时调节预过滤组件(103)固守腔体的四个支脚，当激光从离子源区对中组件(7)通过时，离子源区与分器装配公差已经在设计允许范围内。

这时如果将激光器更换为可以测距的激光器，就可以分别测量分析器(101)到预过滤组 件(103)的实际距离，也可测量分析器(101)和束线腔体(103)的实际距离。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。