[发明专利]一种离子注入机用光路对中工装

权利要求书

1.一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于包括，束线腔体用工装一(1)通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上，束线腔体用工装二(2)同样通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上；分析器用工装一(3)、分析器用工装二(6)均通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器固定组件(4)通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器(5)固定在激光器固定组件(4)；离子源区对中组件(7)通过圆柱销与螺钉固定在预过滤组件(103)上。

2.如权利要求1所述的一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于，束线腔体用工装一(1)、束线腔体用工装二(2)、分析器用工装一(3)上均有过光小孔，并且在理论设计上这三组孔在同一直线上。

3.如权利要求1所述的一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于，分析器用工装二(6)离子源区对中组件(7)上均有过光小孔，并且在理论设计上这三组孔在同一直线上，并且在理论设计上这两组孔在同一直线上。

4.如权利要求1所述的一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于，激光器固定组件(4)拥有两个直线运动滑台与一个转动滑台，用于调整激光器发射光的方向与空间位置。

5.如权利要求1所述的一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于，激光器(5)固定在激光器固定组件(4)上，该激光器有两种，一种为发射绿光或红光等可见光的直线激光器，另外一种为可以精确测量距离的测距激光器。