[发明专利]一种带有防撞击结构的送料装置

权利要求书

1.一种带有防撞击结构的送料装置,包括：基板送料模块、曝光平台，所述基板送料模块包括有：导轨、机械臂，所述曝光平台包括：下平台、位于下平台上方的上平台，所述下平台位于两个平行的导轨之间；其特征在于：所述上平台与上下气缸连接，所述上下气缸上安装有上安装座，所述上安装座的侧面设置有感应器。

2.根据权利要求1所述的一种带有防撞击结构的送料装置,其特征在于：所述上平台上设置有一对上下气缸，每个上下气缸的两个侧面设置有与上平台连接的丝杆，所述丝杆与上下气缸的伸缩轴的另一端依次穿过有下安装座和上安装座。

3.根据权利要求2所述的一种带有防撞击结构的送料装置,其特征在于：每个下安装座上都安装有感应器安装架，每个感应器安装架上设置有两个感应器。

4.根据权利要求2所述的一种带有防撞击结构的送料装置,其特征在于：两个下安装座之间用横梁连接。

5.根据权利要求1或3所述的一种带有防撞击结构的送料装置,其特征在于：所述感应器为位置感应器。

6.根据权利要求1所述的一种带有防撞击结构的送料装置，其特征在于：所述丝杆的下端还穿过有防震弹簧，并利用销轴将防震弹簧压制于上平台的上表面。

7.根据权利要求1所述的一种带有防撞击结构的送料装置，其特征在于：所述机械臂通过滑动块安装在导轨上。