[发明专利]机械手及半导体加工设备

权利要求书

1.一种机械手，包括手指安装板和安装在其上的机械手指，且所述机械手指可相对于所述手指安装板在水平面内旋转，其特征在于，还包括角度调节机构，用于采用螺纹配合的方式调节所述机械手指的旋转角度；

所述角度调节机构包括两个调整部件、固定部件和两个螺钉，其中，

所述两个调整部件设置在所述机械手指上，且沿平行于所述机械手指的旋转圆周的切线方向间隔设置，并且在每个所述调整部件上设置有螺纹孔，两个所述调整部件的所述螺纹孔同轴；所述螺纹孔的轴线水平设置，且平行于所述机械手指的旋转圆周的切线方向；

所述固定部件设置在所述手指安装板上，且位于两个所述螺纹孔之间；

两个所述螺钉分别安装在两个所述螺纹孔中，且两个所述螺钉的一端均与所述固定部件相接触；通过旋紧或旋松其中一个所述螺钉，而使所述调整部件带动所述机械手指顺时针或逆时针旋转；并且，

在所述手指安装板上设置有旋转轴，所述旋转轴的轴线与所述水平面相互垂直；并且，在所述机械手指上设置有安装孔，所述旋转轴安装在所述安装孔中；

所述机械手还包括定位销，所述定位销分别与所述旋转轴和所述机械手指连接，且所述定位销的轴线与所述旋转轴相互垂直；或者，

在所述手指安装板上设置有安装孔，且在所述机械手指上设置有旋转轴，所述旋转轴的轴线与所述水平面相互垂直；并且，所述旋转轴安装在所述安装孔中；

所述机械手还包括定位销，所述定位销分别与所述旋转轴和所述手指安装板连接，且所述定位销的轴线与所述旋转轴相互垂直。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述螺纹孔的轴线垂直于所述手指安装板的前进方向。

3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，还包括多个紧固螺钉，用以固定所述手指安装板和所述机械手指。

4.一种半导体加工设备，其包括反应腔室、传输腔室和机械手，所述机械手设置在所述传输腔室内，用以在所述反应腔室和传输腔室之间传输晶片，其特征在于，所述机械手采用权利要求1-3任意一项所述的机械手。