[发明专利]一种气体自动控制系统及控制方法

权利要求书

1.一种气体自动控制系统，包括单向止回阀、质量流量计、三向阀、排气阀、电阻加热丝、热电偶、温度模块、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器、PLC控制模块、通讯模块、电源模块；其特征在于：

所述单向止回阀的一端连接进气口1，所述单向止回阀的另一端连接第一气体压力传感器输入端，所述第一气体压力传感器的一个输出端连接质量流量计的输入端，所述质量流量计的另一个输出端连接三向阀的输入端，所述三向阀输出端连接容器；所述三向阀的另一输入端连接进气口2；所述三向阀输出端连接容器；所述电阻加热丝安装在三向阀与容器输送气体管路外壁上；所述热电偶安装在与电阻加热丝对应位置管道内壁上；所述排气阀的输入端连接容器，输出端连接第二气体压力传感器的一个输入端；所述第二气体压力传感器的输出端连接气体排气口；

所述PLC控制中的模块数字量输入/输出和模拟量输入/输出模块、通讯模块通过Modbus数据连接线分别与电磁阀、质量流量计、压力传感器、热电偶、温度模块、上位机HMI还与电源模块相连。

2.一种基于权利要求1所述的气体自动控制系统的气体自动控制方法，其特征在于方法如下：

样品气体由进气口1通过单向止回阀后，然后进入第一气体压力传感器，第一气体压力传感器测量并控制气体真空度，再进入质量流量计，通过质量流量计来控制气体的质量流量，再通过三向阀门进入到容器中，三向阀的另一输入端接进气口2，作为其他气体的输气口；

气体在通过三向阀后经安装在输气管道外壁上的电阻加热丝加热后，气体进入容器中，温度依据反应条件进行设定，温度通过安装在与电阻加热丝对应位置管道内壁上热电偶进行测量，通过PLC及温度模块可以进行PID控制；所述温度模块采集热电偶获得的数据，然后发送到控制模块，再由控制模块将数据进行数模转换器处理后反馈到电阻加热丝，完成PID调节。