[发明专利]获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统

说明书

本发明公开了一种获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统，该方法包括以下步骤：1)通过硬件调节的方法使得压力规的输出值比实际值大于m；2)检测压力规的零漂移值；3)比较(零漂移值－m)的绝对值与预设的零漂移阈值的大小，若(零漂移值－m)的绝对值≤预设的零漂移阈值，则进行步骤4)；4)获取压力规的误差值，其中：误差值＝零漂移值－m。上述方法不仅能解决压力规的规正漂问题，还能解决规负漂问题，获取到压力规的误差值。无论压力规有规正漂问题、规负漂问题，本发明中的获取压力规的误差值的装置的控制器均能指示误差值模块获取所述压力规的误差值，减少了压力规硬件调零的次数，减少了维护成本，延长使用寿命。

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统。

背景技术

压力在自动化的工艺过程中是一个很关键的指标，它直接影响自动化工艺的结果和产品的品质。无论是在IC刻蚀还是LED刻蚀，都对压力的精度和稳定性有着非常高的要求，对压力的高精度和高稳定性的控制是刻蚀出合格的工艺产品的必须具备的条件。

在工艺腔室中都安装着高精度的规，我们简称为压力规，压力规的量程一般是从0毫托到几百毫托。压力规在初次安装使用的过程中要先进行硬件调零处理。例如，用分子泵对多工艺腔室进行连续24小时的抽气，抽完之后，设定工艺腔室里面的压力就是高真空0毫托，如果此时的压力规的读数是0.1毫托，或者0.05毫托，我们就通过压力规上的旋钮，对压力规进行调零，把读数调整成0毫托。

随着压力规使用时间的增长，压力规会发生漂移，反馈的结果会产生误差。例如，压力规在使用一段时间以后，压力实际值是0毫托，但是压力规的输出值为0.5毫托，这样就产生了0.5毫托的误差，通常把压力规的输出值大于压力实际值的情况叫做规正漂；相反，例如，如果压力实际值是1毫托，压力规的输出值为0.5毫托，通常把压力规的输出值小于压力实际值情况叫做规负漂。

对工艺腔室的压力控制是靠摆阀设备进行的，压力规的输出值作为摆阀控制压力的输入，如果压力规产生了误差，也就影响到了摆阀对压力的控制，也会产生对应的误差。比如，工艺腔室的压力实际值是0毫托，压力规的输出值是0.5毫托，有0.5毫托的误差，摆阀通过压力规需要控制腔室的压力为3毫托，实际上压力规的实际测量值是3毫托的时候，腔室的实际压力值是2.5毫托，也就产生了0.5毫托的误差。

现有技术一的技术方案就是每间隔一个固定的时间，对压力规进行一次硬件调零动作。比如每间隔两个月，对工艺腔室进行连续抽气24小时，之后读取压力规的输出值，查看压力规是否产生了大的误差。压力规的误差值为压力规的输出值与压力的实际值的差值。对工艺腔连续抽气24小时，就认为此时的实际压力值是0毫托，如果压力规的实际测量值是0毫托，则没有误差，如果压力规的实际测量值是1毫托，则产生了1毫托的误差，一般误差在0.5毫托以下可以接受，在0.5毫托以上必须对规进行硬件的调零。该调零方法比较原始，缺点就是让设备工程师对压力规进行手动调零，维护起来麻烦，会产生一些维护成本；另外，经常对压力规进行调零，会降低压力规的使用寿命。

现有技术二提出了用软件流程实现了对压力规的误差值的读取，使用真空分子泵对工艺腔室连续抽气24小时，就认为此时的实际压力值是0毫托，通过控制器获取压力规的输出值p，其中，p≥0。若p＝0，那么压力规没有误差；若p>|预设零漂移阈值|，则对压力规维修；若0<p≤|预设零漂移阈值|，那么压力规有误差，则压力规的误差值为p，此时压力的实际值＝压力规的输出值-压力规的误差值p。