[发明专利]获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统

权利要求书

1.一种获取压力规的误差值的方法，所述压力规用于控制工艺腔室的压力，其特征在于，包括以下步骤：

1)通过硬件调节的方法使得所述压力规的输出值比实际值大于m，其中，0<m≤压力规的最大误差值；

2)检测所述压力规的零漂移值；包括：

2a)在预设时间内，对工艺腔室进行抽气；

2b)检测所述压力规的零漂移值，其中所述零漂移值＝所述压力规的输出值；

3)比较所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|与预设的零漂移阈值的大小，若所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|≤预设的零漂移阈值，则进行下述步骤4)；

4)获取所述压力规的误差值，其中：

所述误差值＝所述零漂移值－m。

2.根据权利要求1所述的获取压力规的误差值的方法，其特征在于，在所述步骤3)中，若所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|>预设的零漂移阈值，则执行步骤5)对所述零漂移值不正常进行报警。

3.一种获取压力规的误差值的装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取所述压力规的输出值，并发送给硬件调节模块；

硬件调节模块，用于使所述压力规的输出值比实际值大于m，并发送给控制模块，其中，0<m≤压力规的最大误差值；

检测模块，用于检测所述压力规的零漂移值，并发送给控制模块；所述检测模块检测所述压力规的零漂移值包括：

2a)在预设时间内，对工艺腔室进行抽气；

2b)检测所述压力规的零漂移值，其中所述零漂移值＝所述压力规的输出值

控制模块，用于比较所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|与预设的零漂移阈值的大小，若所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|≤预设的零漂移阈值，则所述控制模块指示误差值模块获取所述压力规的误差值；

误差值模块，用于获取所述压力规的误差值，其中，所述误差值＝所述零漂移值－m。

4.根据权利要求3所述的获取压力规的误差值的装置，其特征在于，还包括报警模块，若所述控制模块比较所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|≥预设的零漂移阈值，则所述控制模块还用于指示所述报警模块对所述零漂移值不正常进行报警。

5.一种工艺腔室的压力控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据权利要求1或2所述的获取压力规的误差值的方法获取所述压力规的误差值；

设定所述压力规的压力设定值，其中，所述压力规的压力设定值＝所述工艺腔室的期望压力值+m+所述误差值，通过所述压力规的压力设定值控制所述工艺腔室的压力。

6.根据权利要求5所述的工艺腔室的压力控制方法，其特征在于，还包括步骤：设定压力规的显示值，所述压力规的显示值＝所述压力规的输出值－m－所述误差值。

7.一种工艺腔室的压力控制系统，其特征在于，所述系统包括：权利要求3或4所述的获取压力规的误差值的装置，用于获取所述压力规的误差值，并发送给压力控制模块；

压力控制模块，用于设定所述压力规的压力设定值，其中，所述压力规的压力设定值＝所述工艺腔室的期望压力值+m+所述误差值，所述压力控制模块通过所述压力规的压力设定值控制所述工艺腔室的压力。

8.根据权利要求7所述的压力控制系统，其特征在于，还包括显示模块，所述压力控制模块还用于设定所述显示模块的显示值，所述显示模块的显示值＝所述压力规的输出值－m－所述误差值。