[发明专利]一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法有效
| 申请号： | 201610457955.9 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105846290B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 丁金滨;刘斌;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/036 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 高纯 工作 气体 配送 系统 方法 | ||
【说明书】：
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