[发明专利]一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法有效
| 申请号： | 201610457955.9 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105846290B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 丁金滨;刘斌;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/036 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 高纯 工作 气体 配送 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电研究院，未经中国科学院光电研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610457955.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
