[发明专利]一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置

说明书

本发明涉及显示技术领域，提供了一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置，对位标记包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内。本发明提供的对位标记中，对位标记主体用于与掩膜板进行对位，并且，对位标记主体位于防护墙围成的内部区间内，防护墙的存在能够减少对位标记主体周边的图案密度与结构层中心位置图案密度之间的差异，进而减少了在蚀刻过程中刻蚀液对于对位标记主体图形造成的偏差影响，从而能够提高掩膜板与结构层之间的对位精度，提高后续对位精度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置。

背景技术

目前，平板显示包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光二极管显示(Organic Light Emitting Diode，OLED)、等离子显示(Plasma Display Panel，PDP)和电子墨水显示等多种。OLED显示器作为一种电流型发光器件，以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、可制作在柔性衬底上、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继LCD显示器之后的第三代显示技术，可以广泛用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。

在现有的OLED显示(即有机电致发光器件)的背板工艺中，从第二层开始，每层掩膜板(Mask)均需要使用对位标记(Enhanced Global Alignment，EGA Mark)与结构层之间进行对位。但是，目前，由于结构层形成的图案中，结构层边缘部位的结构图形较少，在进行蚀刻等工艺中，由于结构层边缘的图形图案的密度小于结构层中心部位的图形图案密度，进而使得结构层的边缘区域的蚀刻液分布与结构层中心区域刻蚀液分布不均匀，从而影响结构层边缘部位形成的对位标记的精度，从而导致后继对位偏差甚至对位异常的发生。

发明内容

本发明提供了一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置，该对位标记受刻蚀液分布不均的影响较小，能够提高后继对位精度。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:

一种对位标记，包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内。

本发明提供的对位标记中，对位标记主体用于与掩膜板进行对位，并且，对位标记主体位于防护墙围成的内部区间内，防护墙的存在能够减少对位标记主体周边的图案密度与结构层中心位置图案密度之间的差异，进而减少了在蚀刻过程中刻蚀液对于对位标记主体图形造成的偏差影响，从而能够提高掩膜板与结构层之间的对位精度，提高后续对位精度。

优选地，所述防护墙上设有标识机构以使所述防护墙的形状区别于所述对位标记主体的形状。

优选地，所述防护墙上设有的标识机构包括多个连通所述防护墙的内部区间与外部环境的通液通道。

优选地，每一个所述防护墙设有四个所述通液通道，所述防护墙通过四个所述通液通道分割形成具有条形结构的第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部，所述第一阻挡部和第三阻挡部相对，且第二阻挡部与第四阻挡部相对。

优选地，每一个所述防护墙中，所述第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部朝向所述内部区间的表面为平面。

优选地，所述第一阻挡部朝向内部区间的表面与所述第二阻挡部朝向所述内部区间的表面垂直、且与第三阻挡部朝向内部区间的表面平行，所述第二阻挡部朝向内部区间的表面与第四阻挡部朝向内部区间的表面平行。

优选地，每一个所述防护墙中，所述第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部朝向所述内部区间的表面为曲面。

本发明还提供了一种基板，该基板包括上述技术方案中提供的任意一种对位标记。