[发明专利]一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置有效
| 申请号： | 201610379091.3 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN105870103B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 田宏伟;牛亚男;刘亮亮;张朝波;绰洛鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对位标记 防护墙 对位 掩膜板 显示面板 显示装置 结构层 基板 制备 蚀刻 图案 偏差影响 主体图形 主体周边 刻蚀液 | ||
1.一种对位标记，其特征在于，包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内；其中，
所述防护墙上设有标识机构以使所述防护墙的形状区别于所述对位标记主体的形状；
所述防护墙上设有的标识机构包括多个连通所述防护墙的内部区间与外部环境的通液通道。
2.根据权利要求1所述的对位标记，其特征在于，所述防护墙设有四个所述通液通道，所述防护墙通过四个所述通液通道分割形成具有条形结构的第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部，所述第一阻挡部和第三阻挡部相对，且第二阻挡部与第四阻挡部相对。
3.根据权利要求2所述的对位标记，其特征在于，所述防护墙中，所述第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部朝向所述内部区间的表面为平面。
4.根据权利要求3所述的对位标记，其特征在于，所述第一阻挡部朝向内部区间的表面与所述第二阻挡部朝向所述内部区间的表面垂直、且与第三阻挡部朝向内部区间的表面平行，所述第二阻挡部朝向内部区间的表面与第四阻挡部朝向内部区间的表面平行。
5.根据权利要求2所述的对位标记，其特征在于，所述防护墙中，所述第一阻挡部、第二阻挡部、第三阻挡部以及第四阻挡部朝向所述内部区间的表面为曲面。
6.一种基板，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的对位标记。
7.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求6所述的基板。
8.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求7所述的显示面板。
9.一种如权利要求1-5任一项所述的对位标记的制备方法，其特征在于，包括：
在第一结构层上形成第二结构层；
对所述第二结构层进行构图，以得到对位标记的图案，其中，所述对位标记位于所述第一结构层的边缘部位，且所述对位标记包括对位标记主体和防护墙，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内；其中，
所述防护墙上设有标识机构以使所述防护墙的形状区别于所述对位标记主体的形状；
所述防护墙上设有的标识机构包括多个连通所述防护墙的内部区间与外部环境的通液通道。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，对所述第二结构层进行构图时，所述对位标记中的对位标记主体和防护墙通过一次湿法刻蚀构图工艺形成。
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