[发明专利]一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法

权利要求书

1.一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法，其特征在于，所述方法包括：

将清洗好的衬底放入反应腔室中；

开启罗茨泵和前级泵，并在抽真空的同时对样品盘、载气通道和腔室壁进行加热，在加热的过程中吹载气；

当所述腔室壁的温度达到第一预定温度时，关闭载气，并开启分子泵；

当所述腔室壁的温度达到第二预定温度时，关闭所述分子泵，并打开载气；其中，所述第二预定温度高于所述第一预定温度；

当所述样品盘温度在第一温度范围内变化，且，所述载气通道和所述腔室壁的温度在第二温度范围内变化时，开始后续沉积工艺；

所述并在抽真空的同时对样品盘、载气通道和腔室壁进行加热，还包括：

设定所述样品盘加热目标温度为第一目标温度；

设定所述腔室壁加热目标温度为第二目标温度；

第一预定温度小于第二目标温度，且第二目标温度减去第一预定温度的差值在10-20℃；

第二预定温度等于所述第二目标温度；

所述第一温度范围为所述第一目标温度*(1±1.5％)；

所述第二温度范围为所述第二目标温度*(1±0.3％)。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将清洗好的衬底放入反应腔室中之前，所述方法还包括：

采用蓝宝石清洗步骤对所述衬底进行清洗。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述采用蓝宝石清洗步骤对所述衬底进行清洗，还包括：

将衬底置入丙酮中超声第一预定时间，取出后气体吹干；

将衬底置入异丙醇溶液超声第二预定时间，取出后气体吹干；

将衬底置入去离子水中超声第三预定时间，取出后气体吹干。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

分子泵抽本底真空过程中，所述罗茨泵和所述前级泵保持开启状态，且所述真空度在10^-8Pa以内。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在分子泵关闭后，保持罗茨泵和前级泵开启状态。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在分子泵关闭，打开载气后，在载气流动的情况下抽真空和加热腔室壁、载气通道和样品盘。