[发明专利]蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备

说明书

本发明提供了一种蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备，涉及显示技术领域，用于提高蒸镀到基板上的蒸镀膜层的厚度均匀性。该蒸发源检测系统包括：设置于蒸发源的喷嘴上方的质量传感器，所述质量传感器用于在进行蒸镀前检测由该质量传感器所对应的喷嘴喷出并附着在该质量传感器上的蒸镀材料的质量；与所述质量传感器连接的喷嘴堵塞程度分析单元，所述喷嘴堵塞程度分析单元根据检测得到的蒸镀材料的质量，分析该质量传感器所对应的堵塞程度。上述蒸镀设备用于将蒸镀材料蒸镀到基板上。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置是一种主流的显示装置，具有功耗低、响应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示、明暗比例突出以及高画质的色彩等诸多优点。

OLED显示装置通常包括色阻层，该色阻层包括R(红色)、G(绿色)和B(蓝色)三种色阻，形成RGB色阻一般采用蒸镀工艺。蒸镀过程为：将蒸发源置于蒸镀设备的真空腔室内，将基板设置于蒸发源的上方，所述蒸发源包括坩埚，坩埚外部设置有加热器，坩埚内部装有蒸镀材料，坩埚上方设置有盖板，盖板上设有多个喷嘴，通过加热器加热坩埚，使坩埚内的蒸镀材料从各喷嘴蒸发出来，附着到基板的表面成膜。

但是，上述蒸镀过程存在以下问题：在蒸镀过程中，各喷嘴很容易附着蒸镀材料，在长时间进行蒸镀的过程中，附着在喷嘴上的蒸镀材料会越来越多，导致喷嘴喷出的蒸镀材料减少，并且由于各喷嘴所附着的蒸镀材料的质量不同，造成从不同喷嘴喷出的蒸镀材料的量也不同，从而导致蒸镀到基板上的薄膜的厚度不均匀。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备，用于提高蒸镀到基板上的薄膜的厚度均匀性。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明的第一方面提供了一种蒸发源检测系统，所述蒸发源检测系统包括：设置于蒸发源的喷嘴上方的质量传感器，一个喷嘴对应至少一个所述质量传感器，所述质量传感器用于在进行蒸镀前检测由该质量传感器所对应的喷嘴喷出并附着在该质量传感器上的蒸镀材料的质量；与所述质量传感器连接的喷嘴堵塞程度分析单元，所述喷嘴堵塞程度分析单元根据检测得到的蒸镀材料的质量，分析该质量传感器所对应喷嘴的堵塞程度。

本发明所提供的蒸发源检测系统中，由于喷嘴的堵塞程度与附着在该喷嘴所对应的质量传感器上的蒸镀材料的质量呈反比关系，因此可以通过质量传感器检测附着在自身的蒸镀材料的质量，然后利用喷嘴堵塞程度分析单元根据检测得到的蒸镀材料的质量分析相应喷嘴的堵塞程度，以便于根据分析得到的喷嘴的阻塞程度对相应喷嘴进行处理，比如，对喷嘴进行清洗或者置换。可见，本发明所提供的技术方案能够及时发现并处理堵塞程度较大的喷嘴，从而保证在蒸镀过程中基板各区域所对应的喷嘴喷出的蒸镀材料的量相同或基本相同，避免了由于不同喷嘴堵塞程度不一致所引起的蒸镀膜层厚度不均匀的问题，提高了蒸镀膜层厚度的均匀性。

本发明的第二方面提供了一种蒸发源检测方法，所述蒸发源检测方法包括：在进行蒸镀前检测由蒸发源的喷嘴所喷出的蒸镀材料的质量；根据检测得到的质量，确定相应喷嘴的堵塞程度。

上述蒸发源检测方法的有益效果与本发明的第一方面所提供的蒸发源检测系统的有益效果相同，此处不再赘述。

本发明的第三方面提供了一种蒸镀设备，包括真空腔室，及设置于所述真空腔室内部的蒸发源，所述蒸镀设备还包括上述蒸发源检测系统，所述蒸发源检测系统用于对所述蒸发源进行检测。

上述蒸镀设备的有益效果与本发明的第一方面所提供的蒸发源检测系统的有益效果相同，此处不再赘述。

附图说明