[发明专利]样本收集组件及其制作方法

说明书

本发明提供一种样本收集组件及其制作方法，包括两基板以及间隔件。两基板相对叠置。基板具有第一表面，与第一表面相对的第二表面、第一凹槽以及至少一第二凹槽。两基板的第一表面相对设置，且第一凹槽及第二凹槽分别位于第一表面。基板的第一凹槽共同形成第一连通道，且基板的第二凹槽共同形成连通至样本收集组件之外的第二连通道。第一连通道与第二连通道彼此连通。此外，一种样本收集组件的制作方法也被提及。本发明的样本收集组件可影响并控制第一连通道内的液态溶液样本的流动方向及状态，此外，本发明的样本收集组件可适用于各类型的电子显微镜。

技术领域

本发明是有关于一种样本收集组件，且特别是有关于一种可用在电子显微镜的样本收集组件及其制作方法。

背景技术

随着显微科技的进步，各种类型的显微观察装置，例如原子力显微镜(AtomicForce Microscope,AFM)、电子显微镜如穿透式电子显微镜(Transmission ElectronMicroscope,TEM)、扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)等，因应而生。此外，针对不同的显微镜需要相应的不同类型的样本收集组件，例如气态或液态溶液样本试片、干燥样本试片等。

在已知的技术中，样本收集组件可通过硅晶片以及制作微机电系统常用的聚二甲基硅氧烷(PDM)以例如是氧电浆键结的方式结合，以形成液态样本溶液的微流道。然而，上述的技术仅适用在以扫描式电子显微镜内的X光能量散布分析仪(energy-dispersive X-ray spectroscopy，简称EDX)针对流动样本的表层区域的特定成分与浓度变化情形进行较低解析度的观察与分析时。

此外，美国专利公开号US2013/0264476A1揭示以硅晶片结合穿透式电子显微镜的样品载台形成具有微通道的样本收集组件。当液态的流动样品进入样本收集组件的微通道时，穿透式电子显微镜可观察液态流动样品内的粒子的真实分布情形。然而，上述的样本收集组件仅限使用于穿透式电子显微镜中，而未能通用于其他形式的电子显微镜，例如是扫描式电子显微镜中，并且也无法应用在例如是化学反应或是电化学反应的观察上。除此之外，上述的样本收集组件也无法对于液态样品的流动模式做有效的操控。

发明内容

本发明提供一种样本收集组件，能够通用于不同形式的电子显微镜上，且可通过样本的收纳空间的结构变化来对于液态样本的流向及流速做有效地操控。

本发明提供一种样本收集组件，其可根据样本的观测需求，选择在相对设置的两基板的其中一个设置凹槽，以形成可容纳液态溶液样本并可让液态溶液样本从其中出入的样本容纳空间。

本发明提供一种样本收集组件的制作方法，能制作出具有不同大小的液态样本通道且可对于液态样本的流速及流向进行有效操控的样本收集组件。

本发明的样本收集组件包括两基板以及间隔件。两基板相对叠置。基板具有第一表面，与第一表面相对的第二表面、第一凹槽以及至少一第二凹槽。两基板的第一表面相对设置，且第一凹槽及第二凹槽分别位于第一表面。基板的第一凹槽共同形成第一连通道，且基板的第二凹槽共同形成连通至样本收集组件外的第二连通道。第一连通道与第二连通道彼此连通。间隔件配置在两第一表面之间，用以连接并固定两基板。两基板与间隔件之间形成样本容纳空间。样本容纳空间包括第一连通道及至少一第二连通道。

本发明的样本收集组件包括两基板以及间隔件。两基板彼此相对叠置，基板具有第一表面及与第一表面相对的第二表面。两基板中的其中一个具有第一凹槽以及第二凹槽，且第一凹槽及第二凹槽分别位于第一表面，并且第二凹槽连通至样本收集组件外。两基板的两第一表面彼此相对设置，并且第一凹槽及第二凹槽彼此连通。间隔件配置在两第一表面之间，以连接并固定两基板，并且两基板及间隔件共同围绕形成样本容纳空间。