[发明专利]一种光阻回收利用装置

说明书

技术领域

本发明属于光刻工艺的技术领域，具体地说是一种光阻回收利用装置。

背景技术

光阻被称为半导体制造里面的黄金，可见光阻在半导体里面的重要性。它的重要性体现在一是价格上，非常昂贵。二是地位性，没有光阻就生产不出来芯片。从这两点上我们也可以看出每一滴光阻对芯片的代工厂何等重要。因此，本发明已此为契机，通过对可再利用光阻实现回收，这样长时间下来会带来很大的经济效益。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光阻回收利用装置。该装置通过将排泡时排出的光阻通过本装置回收利用，减少光阻的浪费，将可利用光阻量大大提升，达到同是一瓶光阻情况下产生更大的效益。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种光阻回收利用装置，包括光阻瓶、缓存罐、回收盒、泵及过滤器，其中，所述光阻瓶与氮气管路连通，所述缓存罐通过供胶管路与所述光阻瓶连通，所述缓存罐通过排胶管路依次与泵、过滤器和涂胶单元连通；所述回收盒通过排泡管路I和排泡管路II分别与所述缓存罐的顶部及所述过滤器的顶部连通；所述回收盒通过回收管路与所述光阻瓶连通；所述氮气管路、排泡管路I、排泡管路II及回收管路上均设有通断阀。

所述回收盒的顶部设有回收盒排气口，该回收盒排气口通过排气管路与废液收集盒连通，所述排气管路上设有通断阀。

所述氮气管路、排泡管路I及排气管路上的通断阀均与控制器I连接、并通过控制器I的控制实现同时打开或关闭；所述排泡管路II和回收管路上的通断阀均与控制器II连接、并且通过控制器II的控制实现同时打开或关闭。

所述回收盒的底部设有回收盒出液口，所述回收盒出液口与回收管路连 通。

所述回收盒的上端设有回收盒进液口，所述排泡管路I和排泡管路II汇聚到一起后与所述回收盒进液口连通。

所述光阻瓶的顶部设有供气口、供液口及回收口，所述供气口与氮气管路连通，所述供液口与所述供胶管路连通，所述回收口与回收管路连通。

所述光阻瓶内设有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供胶口伸出、并且与供胶管路连接。

所述缓存罐的上、下端分别设有上液位传感器和下液位传感器，所述上液位传感器和下液位传感器用于监测缓存罐内的光阻量。

所述缓存罐的顶部设有缓存罐进液口和缓存罐排泡口，底部设有缓存罐排液口，所述缓存罐进液口和缓存罐排泡口分别与供胶管路和排泡管路I连通，所述缓存罐排液口通过管路与泵的吸入口连通。

所述过滤器的顶部设有过滤器进液口、过滤器排液口及过滤器排泡口，所述过滤器进液口通过管路与泵的排出口连通，所述过滤器排液口通过管路与涂胶单元连通，所述过滤器排泡口与排泡管路II连通。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明回收盒内的光阻可自动回到胶瓶，实现重新利用。

2.本发明的传感器a可实现无光阻报警但不停机和传感器b报警停机功能。

3.针对光刻工艺中用到的光阻，有一些步骤中能用的光阻被当废光阻排到厂务，而本发明就是要避免这种浪费。

附图说明

图1是本发明的原理示意图；

图2是本发明的缓存罐加液示意图；

图3是本发明的光阻回收示意图。

其中：A为光阻瓶，B为缓存罐，C为回收盒，D为泵，E为过滤器，F为废液收集盒，G为涂胶单元，a为上液位传感器，b为下液位传感器，1为通断阀I，2为通断阀II，3为通断阀III，4为通断阀IV，5为通断阀V，6为供 胶管路，7为排泡管路I，8为排气管路，9为排泡管路II，10为回收管路。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1所示，本发明提供的一种光阻回收利用装置，包括光阻瓶A、缓存罐B、回收盒C、泵D及过滤器E，其中，所述光阻瓶A的顶部与氮气管路连通，所述缓存罐B通过供胶管路6与所述光阻瓶A连通，所述缓存罐B通过排胶管路依次与泵D、过滤器E和涂胶单元G连通；所述回收盒C通过排泡管路I 7和排泡管路II 9分别与所述缓存罐B的顶部及所述过滤器E的顶部连通；所述回收盒C通过回收管路10与所述光阻瓶A连通；所述氮气管路、排泡管路I 7、排泡管路II 9及回收管路10上均设有通断阀。