[发明专利]一种光阻回收利用装置

权利要求书

1.一种光阻回收利用装置，其特征在于，包括光阻瓶(A)、缓存罐(B)、回收盒(C)、泵(D)及过滤器(E)，其中，所述光阻瓶(A)与氮气管路连通，所述缓存罐(B)通过供胶管路(6)与所述光阻瓶(A)连通，所述缓存罐(B)通过排胶管路依次与泵(D)、过滤器(E)和涂胶单元(G)连通；所述回收盒(C)通过排泡管路I(7)和排泡管路II(9)分别与所述缓存罐(B)的顶部及所述过滤器(E)的顶部连通；所述回收盒(C)通过回收管路(10)与所述光阻瓶(A)连通；所述氮气管路、排泡管路I(7)、排泡管路II(9)及回收管路(10)上均设有通断阀。

2.根据权利要求1所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述回收盒(C)的顶部设有回收盒排气口，该回收盒排气口通过排气管路(8)与废液收集盒(F)连通，所述排气管路(8)上设有通断阀。

3.根据权利要求2所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述氮气管路、排泡管路I(7)及排气管路(8)上的通断阀均与控制器I连接、并通过控制器I的控制实现同时打开或关闭；所述排泡管路II(9)和回收管路(10)上的通断阀均与控制器II连接、并且通过控制器II的控制实现同时打开或关闭。

4.根据权利要求1或2所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述回收盒(C)的底部设有回收盒出液口，所述回收盒出液口与回收管路(10)连通。

5.根据权利要求4所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述回收盒(C)的上端设有回收盒进液口，所述排泡管路I(7)和排泡管路II(9)汇聚到一起后与所述回收盒进液口连通。

6.根据权利要求1所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述光阻瓶(A)的顶部设有供气口、供液口及回收口，所述供气口与氮气管路连通，所述供液口与所述供胶管路(6)连通，所述回收口与回收管路(10)连通。

7.根据权利要求6所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述光阻瓶 (A)内设有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供胶口伸出、并且与供胶管路(6)连接。

8.根据权利要求1所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述缓存罐(B)的上、下端分别设有上液位传感器(a)和下液位传感器(b)，所述上液位传感器(a)和下液位传感器(b)用于监测缓存罐(B)内的光阻量。

9.根据权利要求1所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述缓存罐(B)的顶部设有缓存罐进液口和缓存罐排泡口，底部设有缓存罐排液口，所述缓存罐进液口和缓存罐排泡口分别与供胶管路(6)和排泡管路I(7)连通，所述缓存罐排液口通过管路与泵(D)的吸入口连通。

10.根据权利要求1所述的光阻回收利用装置，其特征在于，所述过滤器(E)的顶部设有过滤器进液口、过滤器排液口及过滤器排泡口，所述过滤器进液口通过管路与泵(D)的排出口连通，所述过滤器排液口通过管路与涂胶单元(G)连通，所述过滤器排泡口与排泡管路II(9)连通。