[发明专利]一种高精密金属膜复合镍网及其电铸制作方法在审
申请号: | 201610269015.7 | 申请日: | 2016-04-27 |
公开(公告)号: | CN105734617A | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | 周涛;黎增祺;李真明 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
主分类号: | C25D1/00 | 分类号: | C25D1/00;C25D1/08 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 金属膜 复合 及其 电铸 制作方法 | ||
1.一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:包括电铸镍网(1)和位于所述电铸镍网(1)下面的且与其无缝连接的图形金属膜(2)。
2.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述图形金属膜(2)为镍金属膜或镍合金金属膜。
3.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述图形金属膜(2)的厚度为5~20μm。
4.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述电铸镍网(1)的线径在10~30μm之间,网布开孔率在35~80%之间,厚度在10~50μm之间。
5.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述无缝连接的方式包括电铸结合。
6.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述电铸镍网(1)包括采用电铸技术加工的圆形网孔、菱形网孔、四边形网孔或多边形网孔。
7.根据权利要求1~6任一项所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:包括以下步骤:
S01,一次电铸成型图形金属膜(2);
S02,将所述图形金属膜(2)进行二次电铸至电铸镍网(1)下表面。
8.根据权利要求7所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:S01中所述图形金属膜(2)的电铸成型制作方法为图形制作光罩→基板贴膜→曝光→显影→一次电铸→脱膜→图形金属膜(2)制作完成。
9.根据权利要求7所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:S02具体包括以下步骤:贴膜→曝光→显影→二次电铸→脱模→检查。
10.根据权利要求9所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:二次电铸步骤中镍合金金属膜的电铸溶液组成包括:氨基磺酸镍溶液:450~600g/L;氯化镍溶液:30~50g/L;硼酸:35~40g/L;光亮剂NP-A:25~40ml/L;所述电铸溶液的pH5~5.5;所述电铸溶液的温度为40~45℃;所述电铸溶液的电流密度DK为0.5~1.0A/dm2。
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