[发明专利]一种高精密金属膜复合镍网及其电铸制作方法在审

专利信息
申请号: 201610269015.7 申请日: 2016-04-27
公开(公告)号: CN105734617A 公开(公告)日: 2016-07-06
发明(设计)人: 周涛;黎增祺;李真明 申请(专利权)人: 昆山美微电子科技有限公司
主分类号: C25D1/00 分类号: C25D1/00;C25D1/08
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 精密 金属膜 复合 及其 电铸 制作方法
【权利要求书】:

1.一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:包括电铸镍网(1)和位于所述电铸镍网(1)下面的且与其无缝连接的图形金属膜(2)。

2.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述图形金属膜(2)为镍金属膜或镍合金金属膜。

3.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述图形金属膜(2)的厚度为5~20μm。

4.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述电铸镍网(1)的线径在10~30μm之间,网布开孔率在35~80%之间,厚度在10~50μm之间。

5.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述无缝连接的方式包括电铸结合。

6.根据权利要求1所述的一种高精密金属膜复合镍网,其特征在于:所述电铸镍网(1)包括采用电铸技术加工的圆形网孔、菱形网孔、四边形网孔或多边形网孔。

7.根据权利要求1~6任一项所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:包括以下步骤:

S01,一次电铸成型图形金属膜(2);

S02,将所述图形金属膜(2)进行二次电铸至电铸镍网(1)下表面。

8.根据权利要求7所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:S01中所述图形金属膜(2)的电铸成型制作方法为图形制作光罩→基板贴膜→曝光→显影→一次电铸→脱膜→图形金属膜(2)制作完成。

9.根据权利要求7所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:S02具体包括以下步骤:贴膜→曝光→显影→二次电铸→脱模→检查。

10.根据权利要求9所述的一种高精密金属膜复合镍网的电铸制作方法,其特征在于:二次电铸步骤中镍合金金属膜的电铸溶液组成包括:氨基磺酸镍溶液:450~600g/L;氯化镍溶液:30~50g/L;硼酸:35~40g/L;光亮剂NP-A:25~40ml/L;所述电铸溶液的pH5~5.5;所述电铸溶液的温度为40~45℃;所述电铸溶液的电流密度DK为0.5~1.0A/dm2

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