[发明专利]一种柔性压力传感器及触摸屏

说明书

技术领域

本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种压力传感器及触摸屏。

背景技术

近年来，随着微电子技术、新材料制备工艺的发展，柔性压力传感器越来 越多的被应用到了电子皮肤、可穿戴电子设备、智能机器人等领域。

柔性压力传感器通常包含电极层、介质层和支承层。目前，在制作柔性压 力传感器时多采用氧化铟锡(IndiumTinOxides，ITO)作为柔性压力传感器 的透明电极。作为一种N型铟锡氧化物半导体，ITO具有很好的导电性和透明 性，可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线，因此，常被喷涂在 玻璃、塑料及电子显示屏上用作透明电极。但是，ITO材料本身具有较高的脆 性，弯曲角度不能太大，否则极易出现龟裂，影响电极的导通性，限制了柔性 压力传感器的进一步发展和应用。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种柔性压力传感器及触摸屏，以解决现有 技术中柔性压力传感器电极具有较高的脆性，易出现龟裂，影响电极通透性的 技术问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种柔性压力传感器，包括：介质层以及 位于所述介质层上方的第一电极层和位于所述介质层下方的第二电极层，所述 第一电极层和所述第二电极层同时为金属网格透明电极层或金属纳米线透明电 极层。

进一步地，所述金属网格为菱形金属网格；所述金属纳米线透明电极层为 银纳米线透明电极层。

进一步地，所述介质层与所述第二电极层相邻的一侧为侧截面是三角形、 矩形、梯形或圆弧形的几何体结构。

进一步地，所述介质层与所述第二电极层相邻的一侧为倒金字塔结构。

进一步地，所述第一电极层和所述第二电极层的厚度为50nm，所述介质层 厚度为100μm，所述倒金字塔结构的厚度(高度)为20μm。

进一步地，所述介质层为柔性高分子材料。

进一步地，所述柔性高分子材料为聚二甲基硅氧烷。

进一步地，所述柔性压力传感器还包括：支撑层，位于与所述介质层的倒 金字塔相邻的第二电极层的另一侧，用于支撑所述第二电极层。

进一步地，所述柔性压力传感器为电容式柔性压力传感器。

第二方面，本发明实施例还提供了一种触摸屏，包括：本发明任一实施例 提出的柔性压力传感器。

本发明实施例提供的柔性压力传感器，利用金属网格透明电极或金属纳米 线透明电极制备所述柔性压力传感器的第一电极层和第二电极层，采用柔性高 分子材料制备介质层，可以大大提高柔性压力传感器的柔性，避免电极出现龟 裂的情况，提高柔性压力传感器电极的通透性，同时采用金属网格透明电极能 极大的减小电极与柔性衬底所产生的内应力，从而提高柔性压力传感器的实用 性，扩大柔性压力传感器的使用领域，并可以将介质层与第二电极层相邻的一 侧制为倒金字塔结构,进一步提高柔性压力传感器的灵敏度。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明 的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明实施例一提供的柔性压力传感器的结构示意图；

图2A-图2G为本发明实施例一提供的柔性压力传感器电极层的制备工艺示 意图；

图3A-图3G为本发明实施例一提供的柔性压力传感器介质层的制备工艺示 意图；

图4所示为本发明实施例二提供的触摸屏的阵列基板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此 处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需 要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部内 容。

实施例一

本发明实施例一提供一种柔性压力传感器。图1是本发明实施例一提供的 柔性压力传感器的结构示意图，如图1所示，所述柔性压力传感器包括：

介质层120以及位于所述介质层120上方的第一电极层110和位于所述介 质层120下方的第二电极层130，其中，所述第一电极层110和所述第二电极层 130同时为金属网格透明电极层或金属纳米线透明电极层。