[发明专利]一种柔性压力传感器及触摸屏在审
| 申请号： | 201610243709.3 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN105784254A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 程鑫;邓杨;陈宇龙;张绍达 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G06F3/041;G06F3/044 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压力传感器 触摸屏 | ||
1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括介质层以及位于所述介质层 上方的第一电极层和位于所述介质层下方的第二电极层，
所述第一电极层和所述第二电极层同时为金属网格透明电极层或金属纳米 线透明电极层。
2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述金属网格 为菱形金属网格；所述金属纳米线透明电极层为银纳米线透明电极层。
3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述介质层与 所述第二电极层相邻的一侧为侧截面是三角形、矩形、梯形或圆弧形的几何体 结构。
4.根据权利要求3所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述介质层与 所述第二电极层相邻的一侧为倒金字塔结构。
5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一电极 层和所述第二电极层的厚度为50nm，所述介质层厚度为100μm，所述倒金字塔 结构的厚度(高度)为20μm。
6.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述介质层为 柔性高分子材料。
7.根据权利要求6所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性高分 子材料为聚二甲基硅氧烷。
8.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，还包括：
支撑层，位于与所述介质层的倒金字塔相邻的第二电极层的另一侧，用于 支撑所述第二电极层。
9.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性压力 传感器为电容式柔性压力传感器。
10.一种触摸屏，其特征在于，包括：权利要求1-9任一所述的柔性压力 传感器。
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