[发明专利]用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试装置，尤其涉及一种用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪。

背景技术

对于超热电子能谱的测量，目前一般采用电子磁谱仪。现有的用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪，其结构如图1所示，包括磁场腔体和感光组件，所述磁场腔体的相对的两个侧壁上分别设置有入射孔零件插入孔11和准直孔12，磁场腔体外壳1、外壳上盖2、底部磁体组3、顶部磁体4组组成，整个磁场腔体呈长方体或正方体状，在入射孔12所在的侧壁开设一个与感光组件相等大小的窗口14，以放置感光组件，感光组件包括成像板5和用于装卸成像板5的活动块15，对于磁场均匀区135 mm × 90 mm、磁场强度10000 Gs的磁场腔体，需要的尺寸为240 mm × 230 mm × 115 mm，而窗口14的尺寸为10 mm × 120 mm，由于这种设备内部磁场的磁感应强度较高，窗口14处会引起严重漏磁，从而导致磁场腔体内部磁场的均匀性较差，进而影响测量的精确度，为保证磁场中心磁感应强度的均匀性，需增加腔体壁厚以增强磁屏蔽效应，从而导致电子磁谱仪尺寸、重量的大幅增加，由于用于超热电子能谱测量的电子磁谱仪，要与其他所有实验设备一起放到一个大罐子里（一般称之为真空靶室），对真空靶室抽真空再进行实验，真空靶室里的空间及其承重能力是非常有限的，所以电子磁谱仪的小型化、轻量化非常重要。并且，现有的这种电子磁谱仪为了减少漏磁，只开一个窗口14放置感光组件，其检测范围也非常小。

发明内容

本发明的目的就在于提供一种解决上述问题，磁场区域均匀性好、小巧轻便、检测范围大的用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪，包括磁场腔体和感光组件，所述磁场腔体的相对的两个侧壁上分别设置有入射孔和准直孔，

所述磁场腔体的至少两个相邻的侧壁分别设有开口，所述开口位于与所述入射孔所在侧壁相邻或相对的侧壁上，每组所述感光组件分别经所述开口插入磁场腔体；

所述感光组件由成像板和与所述成像板相连的支撑板组成，所述感光组件插入磁场腔体后，所述成像板、所述磁场腔体的侧壁以及磁场腔体的上盖形成封闭空间。

作为优选的技术方案：所述磁场腔体的三个相邻的侧壁分别设有开口，相应设置有三组感光组件，三块所述成像板、所述磁场腔体的侧壁以及磁场腔体的上盖形成封闭空间。

作为进一步优选的技术方案：所述支撑板末端设置有限位结构。限位结构可以限定感光组件插入深度以及保持感光组件垂直插入；

其中，成像板(imageplate，简称IP板)，一般由外层、氟卤化钡层、聚酯支持层组成，支撑板材料为抗磁性的金属或塑料。

本发明的磁场腔体整体结构仍然由外壳、外壳上盖、底部磁体组、顶部磁体组组成，外壳、外壳上盖材料为具有磁屏蔽效应的铁磁性材料，磁场腔体没有开口的侧壁设有入射孔零件插入孔，与之相对的侧壁设有与入射孔零件插入孔同轴的准直孔；

还设置有与入射孔对应的用于插入入射孔的入射孔零件，入射孔零件材料为具有磁屏蔽效应的铁磁性材料。

与现有技术相比，本发明的优点在于：外壳上的开口面积小，有效地减少了漏磁，提升了外壳的磁屏蔽效果；在保证磁场中心磁感应强度的均匀性的情况下，外壳厚度比现有同类设备大幅减小；对于设计磁感应强度越强的此类设备，外壳厚度的降低越显著，由此减小了设备的整体外观尺寸和重量；由于此类设备通常使用在空间有限的真空靶室中，尺寸和重量的减小十分有利于设备的安装和人工搬运。

使用三组感光组件对磁感应强度均匀区形成三面包围，可以接收通过磁感应强度均匀区三条边界的电子，显著增大了电子能量检测范围。

附图说明

图1为现有技术的结构示意图；

图2为本发明实施例的结构示意图；

图3为图2的爆炸视图；

图4为图2的A-A剖视图；

图5为磁场腔体的结构示意图；

图6为图5的B-B剖视图；

图7为本发明的使用方式示意图。

图中：1、外壳；2、外壳上盖；3、底部磁体组；4、顶部磁体组；5、成像板；6、支撑板；7、限位结构；8、入射孔零件；9、入射孔；10、开口；11、入射孔零件插入孔；12、准直孔；13、电子轨迹示意；14、窗口；15、活动块。

具体实施方式

下面将结合实施例和附图对本发明作进一步说明。

实施例：

参见图2-7所示，