[发明专利]用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪

权利要求书

1.一种用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪，包括磁场腔体和感光组件，所述磁场腔体的相对的两个侧壁上分别设置有入射孔零件插入孔和准直孔，其特征在于：

所述磁场腔体的至少两个相邻的侧壁分别设有开口，所述开口位于与所述入射孔零件插入孔所在侧壁相邻或相对的侧壁上，每组所述感光组件分别经所述开口插入磁场腔体；

所述感光组件由成像板和与所述成像板相连的支撑板组成，所述感光组件插入磁场腔体后，所述成像板、所述磁场腔体的侧壁以及磁场腔体的上盖形成封闭空间；

所述入射孔零件的材料为具有磁屏蔽效应的铁磁性材料；

所述成像板由外层、氟卤化钡层、聚酯支持层组成。

2.根据权利要求1所述的用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪，其特征在于：所述磁场腔体的三个相邻的侧壁分别设有开口，相应设置有三组感光组件，三块所述成像板、所述磁场腔体的侧壁以及磁场腔体的上盖形成封闭空间。

3.根据权利要求1或2所述的用于测量超热电子能谱的电子磁谱仪，其特征在于：所述支撑板末端设置有限位结构。