[发明专利]RGBIR图像传感器在审
申请号: | 201610203367.2 | 申请日: | 2016-04-05 |
公开(公告)号: | CN107293559A | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 李杰;赵立新;李文强;李强 | 申请(专利权)人: | 格科微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | rgbir 图像传感器 | ||
技术领域
本发明涉及图像处理领域,尤其涉及一种RGBIR图像传感器。
背景技术
现有的RGBIR图像传感器通常包括P型衬底,位于P型衬底上的外延层,所述外延层中包含若干N型区域,做为图像传感器的光电二极管区域。由于采用RGBIR彩色滤光膜阵列代替了Bayer模式的RGB彩色滤光膜阵列,该RGBIR彩色滤光膜阵列包括R、G、B、IR四种通道,其中,R通道允许红光和红外光通过,G通道允许绿光和红外光通过,B通道允许蓝光和红外光通过,IR通道仅允许红外光通过,因此R、G、B通道各自接收到的信号分别减去IR通道接收到的信号,即可得到红光、绿光、蓝光单独产生的信号,从而有效去除红外光影响而产生的噪声。然而由于红外光的波长较长,能够进入P型衬底并产生大量冗余电子,这些冗余电子容易转移至周围像素单元,造成光电二极管之间的串扰,并且导致光线亮度过高,成像色彩偏白。
发明内容
本发明的目的在于提供一种RGBIR图像传感器,减小光电二极管之间的串扰,提高成像色彩鲜艳度,改善图像质量。
基于以上考虑,本发明提供一种RGBIR图像传感器,其包括:N型衬底;位于N型衬底上的外延层;所述外延层中包含若干第一N型区域,做为图像传感器的光电二极管区域;RGBIR彩色滤光膜阵列;光通过RGBIR阵列于N型衬底中形成冗余电子,于N型衬底加正压,抽取冗余电子以防止转移至周围像素单元,减小光电二极管之间的串扰。
优选地,所述外延层为P型外延层。
优选地,所述外延层为N型外延层,N型衬底与N型外延层之间还设置有P型隔离层。
优选地,所述RGBIR图像传感器还包括:位于像素阵列周围区域的第二N型区域,所述第二N型区域与N型衬底连通,于第二N型区域加正压,适于抽取像素单元中的冗余电子。
优选地,所述第二N型区域包括:靠近表面的浅N型区域及位于其下部的深N型区域。
本发明的RGBIR图像传感器,采用N型衬底代替现有技术中的P型衬底,并于N型衬底加正压,抽取N型衬底中的冗余电子以防止转移至周围像素单元,减小光电二极管之间的串扰,提高成像色彩鲜艳度,改善图像质量。
附图说明
通过参照附图阅读以下所作的对非限制性实施例的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显。
图1为本发明的RGBIR图像传感器的一个实施例的结构示意图;
图2为本发明的RGBIR图像传感器的另一实施例的结构示意图。
在图中,贯穿不同的示图,相同或类似的附图标记表示相同或相似的装置(模块)或步骤。
具体实施方式
为解决上述现有技术中的问题,本发明提供一种RGBIR图像传感器,采用N型衬底代替现有技术中的P型衬底,并于N型衬底加正压,抽取N型衬底中的冗余电子以防止转移至周围像素单元,减小光电二极管之间的串扰,提高成像色彩鲜艳度,改善图像质量。
在以下优选的实施例的具体描述中,将参考构成本发明一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本发明的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本发明的所有实施例。可以理解,在不偏离本发明的范围的前提下,可以利用其他实施例,也可以进行结构性或者逻辑性的修改。因此,以下的具体描述并非限制性的,且本发明的范围由所附的权利要求所限定。
图1示出本发明的RGBIR图像传感器的一个实施例。该RGBIR图像传感器包括:N型衬底101;位于N型衬底101上的P型外延层102;所述P型外延层102中包含若干第一N型区域103,做为图像传感器的光电二极管区域;RGBIR彩色滤光膜阵列104。由于采用了N型衬底101代替现有技术中的P型衬底,并于N型衬底101加正压,抽取N型衬底101中的冗余电子以防止转移至周围像素单元,减小了光电二极管之间的串扰,提高了成像色彩鲜艳度,改善了图像质量。
优选地,所述RGBIR图像传感器还包括:位于像素阵列周围区域的第二N型区域107,在本实施例中,所述第二N型区域107包括:靠近表面的浅N型区域105及位于其下部的深N型区域106,所述第二N型区域107与N型衬底101连通,于第二N型区域107加正压,例如于靠近表面的浅N型区域105加正压,适于抽取像素单元中的冗余电子。
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