[发明专利]无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱

说明书

本发明公开了一种无尘室循环过滤装置，其包括：过滤单元，其设置于无尘室内，该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室；板体，其上开设有多个通孔，该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方，该板体与过滤单元之间形成第二腔室，该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室；回风通道，其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本发明同时还公开了一种无尘室和手套箱。本发明与现有技术相比，在简化结构和降低成本的前提下，同样形成了高洁净度的无尘环境，使得洁净度同样可以达到ISO1级。

技术领域

本发明涉及一种过滤装置，具体涉及一种无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱。

背景技术

在电子行业、显示行业以及医学行业的科学研究与生产过程中,为了提高产品性能，通常都需要在无尘室或无尘设备中加工制造或进行相关科学实验。无尘设备的好坏直接关系到产品的好坏，这已经成为影响和制约我国电子行业、显示行业的瓶颈，能够达到ISO1级的高洁净无尘室更是几乎没有。

目前所使用的一些过滤设备，虽然可以满足一些无尘室的过滤要求，但是对于一些小型的设备，例如手套箱等，其内部空间较小，传统的过滤设备在体积上与其存在矛盾，并且传统的过滤设备普遍结构都较为复杂，在使用成本和维护成本上也无法适应手套箱等的要求。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种结构简单、成本低且可以适应手套箱等设备使用要求的无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

无尘室循环过滤装置，其包括：

过滤单元，其设置于无尘室内，该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室；

板体，其上开设有多个通孔，该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方，该板体与过滤单元之间形成第二腔室，该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室；

回风通道，其两端分别连通第一腔室和第三腔室。

本发明的无尘室循环过滤装置主要在无尘室内设置了过滤单元、板体和回风通道，把无尘室分别隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，过滤单元通过驱动单元的运转将气体通过其过滤后垂直向下吹出，带走设备内的颗粒物，气体再依次经过第二腔体、板体、第三腔体和回风通道后重新回到第一腔体并被过滤单元吸入，如此循环过滤形成高洁净的无尘环境。

因此，本发明与现有技术相比，在简化结构和降低成本的前提下，同样形成了高洁净度的无尘环境，使得洁净度同样可以达到ISO1级。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以作如下改进：

作为优选的方案，上述的第一腔室和第三腔室还分别连接纯化单元。

采用上述优选的方案，纯化单元可以抽取部分气体除水除氧后，重新回到过滤单元的上部，经过滤单元过滤后成为无水无氧的气氛环境，从而进一步地提高无尘室的洁净度。

作为优选的方案，上述的第一腔室和纯化单元之间连接的管道上设置有过滤器。

采用上述优选的方案，可以对重新回到过滤单元的气体进行过滤，从而进一步地提高无尘室的洁净度。

作为优选的方案，上述的过滤单元为FFU过滤器。

采用上述优选的方案，可以实现较佳的过滤效果。

作为优选的方案，上述的过滤单元通过支架安装于无尘室内，过滤单元与支架之间设置有密封圈。

采用上述优选的方案，可以保证过滤单元安装的稳固性和密封性。