[发明专利]无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱

权利要求书

1.无尘室循环过滤装置，其特征在于，包括：

过滤单元，其设置于无尘室内，所述过滤单元与所述无尘室的顶部之间形成第一腔室；

板体，其上开设有多个通孔，所述板体设置于所述无尘室内并位于所述过滤单元的下方，所述板体与所述过滤单元之间形成第二腔室，所述板体与所述无尘室的底部之间形成第三腔室；

回风通道，其两端分别连通所述第一腔室和所述第三腔室；

所述第一腔室和第三腔室还分别连接纯化单元；

所述过滤单元通过支架安装于所述无尘室内，所述过滤单元与所述支架之间设置有密封圈，所述密封圈内设有周向的至少一腔室，所述腔室连通进出气单元，所述进出气单元上设置有至少一检测单元，所述检测单元电连接处理器，用于检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器；

所述进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接所述处理器，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，与所述处理器内预设的值进行对比，然后所述处理器根据对比结果控制所述进气控制部和出气控制部通过所述进出气单元对所述腔室进行加气和/或减气；

所述第一腔室和所述纯化单元之间连接的管道上设置有过滤器；所述过滤单元为FFU过滤器；所述进出气单元为管路；

无尘室分别隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，过滤单元通过驱动单元的运转将气体通过其过滤后垂直向下吹出，带走设备内的颗粒物，气体再依次经过第二腔体、板体、第三腔体和回风通道后重新回到第一腔体并被过滤单元吸入，如此循环过滤形成高洁净的无尘环境；

检测单元具体为压力传感器以及浓度传感器。

2.无尘室，包括壳体，其特征在于，所述壳体内设置有如权利要求1所述的无尘室循环过滤装置。

3.手套箱，包括壳体，所述壳体内具有作为无尘室的腔体，其特征在于，所述腔体内设置有如权利要求1所述的无尘室循环过滤装置。