[发明专利]一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法

权利要求书

1.一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)：预处理，对金刚线切割的多晶硅片进行清洗，清洗后烘干；

步骤2)：热处理，对所述步骤1)中处理后的多晶硅片进行加热处理；

步骤3)：制绒，将所述步骤2)处理后的多晶硅片放入酸混合溶液中进行制绒，得到制绒后的多晶硅片；

所述步骤2)中的加热处理的加热温度为700～840℃，加热时间为50～600s。

2.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤1)中的清洗为RCA溶液清洗，且RCA溶液中的NH₄OH、H₂O₂、H₂O的体积比为1：1：5。

3.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤1)中的烘干具体为：通过电阻率大于16MΩ的高洁净度的DI水加热后的表面张力将硅片表面的水去除，在多晶硅片的顶部向下吹80～100℃的洁净风进行烘干。

4.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤3)中的酸混合溶液为HF/HNO₃混合液。

5.根据权利要求4所述的制绒方法，其特征在于，所述HF/HNO₃混合液中，HF：HNO₃的体积比为1：7～3：7。

6.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤3)中的多晶硅片放入酸混合溶液中制绒的时间为90～150s。