[发明专利]一种旋转式有机材料蒸发装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸发装置，尤其涉及一种旋转式有机材料蒸发装置。

背景技术

真空热蒸发镀膜在有机EL (Electro Luminescence)电致发光，有机太阳能电池，金属电极，食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/ 液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板（衬底）之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板（衬底）上沉积。

在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种工艺成型。尤其是真空沉积方法，由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到坩埚中，并通过对坩埚进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。

传统的有机材料蒸发装置结构复杂，有机材料蒸发源多为单头结构，每个蒸发源只有一个坩埚，且不能旋转，如果要实现多个坩埚同时蒸发，需要安装多个单头结构的蒸发源，成本非常高。有机材料蒸发源的坩埚内蒸发出来的材料通过石英晶振探头测量其厚度，探头通常安装在坩埚的斜上方。对于传统的有机材料蒸发源，要实现测量准确，每个蒸发源的坩埚都需要安装一个石英晶振探头。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种旋转式有机材料蒸发装置。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，

所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，

其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，

所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；

所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；

所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。

优选的，所述坩埚底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板。

优选的，所述坩埚底板上环形等分设置有十二个坩埚，所述压盘的外围环绕有十二个隔板，所述隔板分别位于相邻坩埚之间。

优选的，所述隔板为石英隔板或304不锈钢隔板，所述隔板的厚度为1~1.5mm。

优选的，所述坩埚底板上设置有复数插槽，所述坩埚的底部具有两个引脚，所述坩埚的引脚插接于所述插槽内。

优选的，所述坩埚底板为圆形铝盘。

优选的，所述复数坩埚的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。

优选的，所述绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。

优选的，所述驱动单元还包括密封磁流体，所述密封磁流体包括外壳和穿接于所述外壳的轴杆，所述外壳通过一法兰与电机相固接，所述驱动轮固定于所述轴杆的顶端，所述轴杆的底端通过一联轴器与所述电机的驱动轴相连。

优选的，所述驱动轮上外壁至少设置有一环形凹槽，所述环形凹槽内设置有O型圈。

本发明的有益效果主要体现在：

1.通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；

2.多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量，极大的降低了成本；

3.结构紧凑，易于安装、更换、维护；

4.控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。

附图说明

图1是本发明一种旋转式有机材料蒸发装置的结构示意图；

图2是本发明一种旋转式有机材料蒸发装置的截面结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种旋转式有机材料蒸发装置。以下结合附图对本发明技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。