[发明专利]一种旋转式有机材料蒸发装置

权利要求书

1.一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，

所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，

其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，

所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；

所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；

所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。

2.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩埚进行阻隔复数隔板。

3.根据权利要求2所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板上环形等分设置有十二个坩埚，所述压盘的外围环绕有十二个隔板，所述隔板分别位于相邻坩埚之间。

4.根据权利要求2或3所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述隔板为石英隔板或304不锈钢隔板，所述隔板的厚度为1~1.5mm。

5.根据权利要求1、2或3任意一项所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板上设置有复数插槽，所述坩埚的底部具有两个引脚，所述坩埚的引脚插接于所述插槽内。

6.根据权利要求5所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚底板为圆形铝盘。

7.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述复数坩埚的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。

8.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。

9.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述驱动单元还包括密封磁流体，所述密封磁流体包括外壳和穿接于所述外壳的轴杆，所述外壳通过一法兰与电机相固接，所述驱动轮固定于所述轴杆的顶端，所述轴杆的底端通过一联轴器与所述电机的驱动轴相连。

10.根据权利要求1或9所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：所述驱动轮上外壁至少设置有一环形凹槽，所述环形凹槽内设置有O型圈。