[发明专利]一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法有效
申请号: | 201610177681.8 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN105702814B | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 章帅;徐慧文;李起鸣 | 申请(专利权)人: | 映瑞光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光电 参数 测试 不合格 白光 led 芯片 加工 方法 | ||
本发明提供一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,包括如下步骤:提供一光电参数测试不合格的白光LED芯片,所述芯片包括设有电极的第一表面和第二表面,所述第一表面为出光面,所述第二表面为与第一表面相对的另一表面;采用湿法腐蚀或干法刻蚀去除第一表面的荧光粉混合层;在去除荧光粉混合层后的第一表面的电极上涂覆光刻胶;在第一表面涂覆荧光粉混合层,并固化;对所述荧光粉混合层表面进行研磨抛光;去除电极上面的光刻胶,并对所述芯片进行光电参数测试。通过本发明提供的一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,解决了现有技术中对于测试不合格产品直接报废,大大降低了芯片的成本。
技术领域
本发明涉及一种半导体发光二极管领域,特别是涉及一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法。
背景技术
发光二极管简称LED,是一种能将电能转化为光能的半导体电子元件。LED被称为第四代光源,具有节能、环保、安全、寿命长、低功耗、低热、高亮度、防水、微型、防震、易调光、光束集中、维护简便等优点,因此被广泛应用于各种指示、显示、装饰、背光源、普通照明等领域。
目前实现白光LED的方式主要有三种:紫光芯片+红绿黄荧光粉;蓝光芯片+钇铝石榴石(YAG)荧光粉;红绿蓝三基色芯片+荧光粉完成。无论上述三种方式的任一种,其荧光粉的添加都在封装阶段完成,但由于点胶工艺的精度问题,导致芯片相关色温(CCT:Correlated Color Temperature)的一致性、光斑的均匀性、发光角度都会受到影响。为了解决上述问题,很多LED制造公司采用在晶圆上就实现LED白光的方法,特别是对于大功率芯片,在晶圆上先用光刻胶保护住芯片正面的电极,再涂上荧光粉和粘连剂的混合物,然后研磨抛光,再去除电极上的光刻胶,最后经过测试切割为单颗的LED白光芯片。
为了控制色温的均匀性,配粉的工艺以及抛光的厚度是非常重要的,在大规模作业过程中,一旦某个环节出错,测试发现色温漂离正常值,就意味着大面积的不合格品。对所述LED白光芯片进行测试时,通过测试芯片的电压、亮度、色坐标、方向漏电流等判定所述LED芯片的光电参数。对于所述光电参数测试不合格的产品,现有技术是直接报废处理,增加了制作成本。
鉴于此,有必要设计一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法用以解决上述技术问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,用于解决现有技术中对于光电参数测试不合格的白光LED芯片直接报废的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,包括如下步骤:
步骤1):提供一光电参数测试不合格的白光LED芯片,所述芯片包括设有电极的第一表面和第二表面,所述第一表面为出光面,所述第二表面为与第一表面相对的另一表面;
步骤2):采用湿法腐蚀或干法刻蚀去除第一表面的荧光粉混合层;
步骤3):在去除荧光粉混合层后的第一表面的电极上涂覆光刻胶;
步骤4):在第一表面涂覆荧光粉混合层,并固化;
步骤5):对所述荧光粉混合层表面进行研磨抛光;
步骤6):去除电极上面的光刻胶,并对所述芯片进行光电参数测试。
优选地,步骤2)中采用去胶剂进行湿法腐蚀。
优选地,所述去胶剂的主要成分为1-甲基-2-吡咯烷酮(1-Methy1-2-Pyrrolidinone)、乙醇胺,所述去胶剂与水的比例为1:0~1:20。
优选地,步骤2)中所述干法刻蚀为采用氟化物气体进行反应离子刻蚀。
优选地,所述氟化物气体为三氟甲烷。
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