[发明专利]一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法有效
申请号: | 201610177681.8 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN105702814B | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 章帅;徐慧文;李起鸣 | 申请(专利权)人: | 映瑞光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光电 参数 测试 不合格 白光 led 芯片 加工 方法 | ||
1.一种光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1):提供一光电参数测试不合格的白光LED芯片,所述芯片包括设有电极的第一表面和第二表面,所述第一表面为出光面,所述第二表面为与第一表面相对的另一表面;
步骤2):采用湿法腐蚀或干法刻蚀去除第一表面的荧光粉混合层;
步骤3):在去除荧光粉混合层后的第一表面的电极上涂覆光刻胶;
步骤4):在第一表面涂覆荧光粉混合层,并固化;
步骤5):对所述荧光粉混合层表面进行研磨抛光;
步骤6):去除电极上面的光刻胶,并对所述芯片进行光电参数测试;
步骤2)中采用去胶剂进行湿法腐蚀,所述干法刻蚀为采用氟化物气体进行反应离子刻蚀。
2.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,所述去胶剂的主要成分为1-甲基-2-吡咯烷酮(1-Methy1-2-Pyrrolidinone)、乙醇胺,所述去胶剂与水的比例为1:0~1:20。
3.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,所述氟化物气体为三氟甲烷。
4.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,所述干法刻蚀的时间为1~30min。
5.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,步骤2)中所述荧光粉混合层为荧光粉和粘连剂的混合物。
6.根据权利要求5所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,所述粘连剂为硅胶、变形硅树脂、环氧树脂、变形环氧树脂及丙烯树脂中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,步骤5)中所述研磨前荧光粉混合层的厚度为10um~1000um,研磨后荧光粉混合层的厚度为5um~100um。
8.根据权利要求1所述的光电参数测试不合格的白光LED芯片重加工的方法,其特征在于,所述LED芯片为垂直结构、正装结构、垂直倒装结构、高压结构、以及垂直倒装高压结构中的一种。
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