[发明专利]单晶炉用热场及单晶炉

权利要求书

1.单晶炉用热场，包括坩埚(121)及位于其上方的冷却件(123)，其特征在于，还包括护套(124)，所述护套(124)设置于所述冷却件(123)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧，所述护套(124)具有相对的第一表面(125)和第二表面(126)，所述第一表面(125)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧，所述第二表面(126)与所述冷却件(123)间隔设置或者相贴合接触。

2.如权利要求1所述的单晶炉用热场，其特征在于，所述护套(124)为石英材质。

3.如权利要求1或2所述的单晶炉用热场，其特征在于，还包括位于所述坩埚(121)上方的热屏(122)，所述冷却件(123)位于所述热屏(122)与所述护套(124)之间。

4.单晶炉，其特征在于，包括炉体(110)和如权利要求1-3任一项所述的单晶炉用热场，所述单晶炉用热场位于所述炉体(110)内。

5.如权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体(110)包括相连接的主室(111)和副室，所述主室(111)内具有坩埚(121)、保温盖(127)及冷却件(123)，所述保温盖(127)和所述冷却件(123)依次位于所述坩埚(121)靠近所述副室的一端，所述冷却件(123)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧还设置有护套(124)。

6.如权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体(110)包括相连接的主室(111)和副室，所述主室(111)内具有坩埚(121)及位于所述坩埚(121)靠近所述副室一端的保温盖(127)，所述主室(111)内还具有第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)，所述第一冷却件(1231)位于所述坩埚(121)与所述保温盖(127)之间，所述第二冷却件(1232)位于所述保温盖(127)靠近所述副室的一端，所述第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)靠近所述坩埚(121)中心轴线的一侧共同设置有护套(124)。

7.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述护套(124)上对应于所述第一冷却件(1231)和第二冷却件(1232)的间隙处开设有取光孔(128)。

8.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述主室(111)内还设置有位于所述坩埚(121)与所述保温盖(127)之间的热屏(122)，所述第一冷却件(1231)位于所述热屏(122)与所述护套(124)之间。