[发明专利]一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法有效
| 申请号： | 201610162480.0 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105568391B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 贾传磊;李松 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | C30B31/22 | 分类号： | C30B31/22;C30B33/02;C30B29/16 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 221116 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 离子 注入 氧化 晶体 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法，其特征在于，该二氧化钛晶体的制备方法包括步骤如下：
（1）样品处理：样品为二氧化钛单晶，表面光学抛光，尺寸为5mm×5mm，厚度为0.5mm;样品表面先后用去离子水、酒精及丙酮做清洁处理；
（2）离子注入：采用多能量的铥离子注入步骤（1）中处理后的二氧化钛晶体抛光面，注入靶室温度为600℃ ，注入离子的能量分别为350keV、200keV、150keV、80keV及40keV，根据能量由高到低的原则依次注入，对应的注入离子剂量依次为6.67×1014离子/平方厘米、1.44×1014离子/平方厘米、1.94×1014离子/平方厘米、1.44×1014离子/平方厘米及1.03×1014离子/平方厘米；
（3）退火处理：将步骤（2）中注入后的二氧化钛晶体样品分别在管式炉氧氛围中高温退火，退火温度范围800℃~1000℃ ，退火温度阶梯为20℃ ，每一退火温度阶梯下的退火时间均为30分钟。
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